نظام الغلاف النظيف يرافق شركة تشيانغهوا المحدودة، القاعدة في لينغانغ، لبناء خط دفاع نظيف قوي للتصنيع "الأساسي" في الصين

مؤخرًا، مشروع قاعدة إنتاج المعدات الأساسية للدوائر المتكاملة والمواد الجديدة التابع لشركة تشيانغهوا المحدودة الموجودة في المنطقة الصناعية في لينغانغ بشانغهاي قد اكتمل بنجاح، ما يمثل خطوةً حاسمةً في مسار تحقيق الاستقلالية والتحكم الذاتي في المواد أشباه الموصلات المحلية الحيوية. وبصفتها المورِّد الأساسي لأنظمة الغرف النظيفة في هذا المشروع، فإن الحل الشامل لنظام الغرفة المعدنية النظيفة ، بفضل أدائه الممتاز وقدراته العميقة في التخصيص، نجح في إنشاء حاجز نظيف عالي المستوى لمصنع أشباه الموصلات المتقدم هذا. أما منتجاتها الأساسية — الألواح المصنوعة يدويًّا والألواح النظيفة — فقد لعبت دورًا محوريًّا، وصارت «درعًا نظيفًا» متينًا يحمي التصنيع الصيني "الأساسي".

«الشريان الحيوي» لتصنيع أشباه الموصلات: متطلباتٌ قصوى تُفرض على البيئة النظيفة

يُعتبر تصنيع الدوائر المتكاملة "الجوهرة في تاج" الصناعة الحديثة، حيث تصل دقة عملياته إلى المستوى النانومتري. وتؤثر استقرارية البيئة النظيفة وسيطرتها بشكل مباشر على نسبة نجاح المنتجات والدقة الأساسية. وأثناء عملية إنتاج الرقائق، قد تؤدي أصغر جزيئات الغبار أو الجسيمات أو التلوث الميكروبي إلى رفض الرقائق السيليكونية (Wafers)، وفشل الدوائر، وخسائر فادحة. ولذلك، يجب أن تحقق ورش إنتاج أشباه الموصلات النظيفة ليس فقط درجة نظافة فائقة تتوافق مع الفئة ISO 1–5 ، بل ويجب أيضًا أن تستوفي مؤشرات صارمة في أبعاد مثل الحفاظ على درجة حرارة ورطوبة ثابتتين، واستقرار فرق الضغط، والمقاومة البكتيرية ومقاومة الغبار، ومقاومة الحريق والعزل الحراري، ومعدل منخفض لتوليد الغبار وهذا يفرض متطلبات قصوى من قِبل قطاع الصناعة على المواد والعمليات وأداء الإحكام والاستقرار للمنتجات الأساسية في نظام التغليف مثل الألواح النظيفة والألواح المصنوعة يدويًّا.

بصفتها شركة رائدة في صناعة مكونات الكوارتز أشباه الموصلات في الصين، وشركة وطنية من فئة «الشركات الصغيرة العملاقة المتخصصة والدقيقة والمميزة والابتكارية»، فإن شركة تشيانغهوا المحدودة تشارك بشكلٍ عميق في البحث والتطوير وإنتاج منتجات مواد الكوارتز عالية النقاء. وتُعد منتجاتها مستهلكات أساسية لا غنى عنها لمعدات رئيسية تدخل في كامل عملية تصنيع الرقائق الإلكترونية، حيث تخدم شركات رائدة مثل شركة SMIC وشركة NAURA. وقد اكتمل مؤخرًا إنشاء قاعدة لينغانغ الجديدة التي تغطي مساحةً تبلغ ٣٢ مو، وبمساحة بنائية تبلغ نحو ٤٦٧٠٠ متر مربع، وباستثمار إجمالي قدره ٥٥٠ مليون يوان صيني. وتتركّز هذه القاعدة على إنتاج أجهزة الكوارتز عالية النقاء والدقة بمقاسات تتراوح بين ٨ و١٢ بوصة، وكذلك الأجهزة القائمة على السيليكون. وباعتبارها مشروعًا رئيسيًا ضمن الصناعات الناشئة الاستراتيجية في شنغهاي، فإنها تحمل المهمة الأساسية المتمثلة في تحقيق السيطرة الذاتية والاستقلالية في توريد المواد الأساسية لأشباه الموصلات. ويجب أن تتطابق متطلبات إنشاء ورشة العمل النظيفة التابعة لها مع معايير الإنتاج الخاصة بالعمليات المتقدمة ذات الدقة ٢٨ نانومتر وأقل، ما يفرض تحدياتٍ جسيمة للغاية على درجة التخصص والموثوقية المطلوبة في الألواح النظيفة والألواح المصنوعة يدويًّا.

حل تنظيف مخصص: القوة الأساسية تُحلّ الصعوبات الصناعية

وبفضل سنوات من التراكم التقني في مجال غرف التنظيف المُحكمة وخبرة الفريق في خدمة مشاريع أشباه الموصلات، شارك الفريق بعمق في تخطيط وتصميم ورشة التنظيف المُحكمة لشركة تشيانغهوا المحدودة، القاعدة في لينغانغ. وباستنادٍ إلى الاحتياجات الخاصة لموقع إنتاج أشباه الموصلات، قدّم الفريق حلاً شاملاً مخصصاً يشمل جميع المراحل ، حيث تشكّل الألواح المصنوعة يدوياً عالية الجودة والألواح النظيفة المحكمة اللبنة الأساسية، ويغطي جميع فئات المنتجات مثل ألواح جدران غرف التنظيف، والأسقف، والأبواب الفولاذية النظيفة، ونوافذ المراقبة المضادة للضباب بالكامل، وأنظمة الإغلاق والختم، ليحقّق بذلك مبدأ «التصميم المتكامل، والإنتاج المتكامل، والبناء المتكامل» للنظام المحيط.

مواد راقية، ومعيار أداء عالي يتكوّن اللب من ألواح نظيفة يدوية الصنع مكوّنة من زجاج مغنيسيوم صخري مزدوج (أي الألواح اليدوية الفاخرة)، وهي منتجات عالية الجودة ضمن فئة الألواح النظيفة. وتتميّز هذه الألواح بمقاومة حريق من الفئة (أ)، وكفاءة عالية في مقاومة البكتيريا، وتوليد منخفض للغبار، ومقاومة للتآكل الحمضي والقلوي، وغيرها. ويتم دمج المادة الأساسية واللوحة باستخدام عملية الضغط الساخن ECCP، ما يضمن التصاقًا عاليًا ومسطحية ممتازة، ويُثبّط بشكل فعّال تكوّن الجسيمات ويضمن البيئة النظيفة من المصدر؛ وفي الوقت نفسه، تتمتّع هذه الألواح بأداء ممتاز في العزل الحراري والصوتي، ما يساعد على التحكم المستقر في درجة الحرارة والرطوبة داخل ورشة العمل وتقليل استهلاك الطاقة.

إغلاق دقيق لمنع التلوث : استنادًا إلى ألواح نظيفة مخصصة وألواح يدوية، فإن هيكل الاتصال بالإدخال المقعّر-المحدّب + هيكل الإغلاق الألومنيومي على شكل الحرف الصيني يُعتمد في التجميع الوحدوي، مع وصلات مشدودة خالية من الزوايا الميتة. وبالاشتراك مع شرائط الإغلاق الخاصة، يحقّق غلافًا «بدون فجوات»، ما يمنع بشكل فعّال دخول الغبار والكائنات الدقيقة الخارجية، ويحول دون تسرب الهواء النظيف الداخلي، مما يضمن استقرار فرق الضغط في ورشة العمل ويلبي متطلبات تدفق الهواء الأحادي الاتجاه في ورشة أشباه الموصلات.

تخصيص متعمّق، مُكيَّف حسب السيناريوهات : وبهدف تلبية احتياجات ورشة أشباه الموصلات ذات الباع الكبير ودرجة النظافة العالية والقدرة العالية على التحمّل، تم تصميم ألواح نظيفة بمواصفات فائقة الطول، وألواح مصنوعة يدويًّا، وهياكل عظمية معزَّزة لتقوية القوة والاستقرار العامَّين؛ وهي مزوَّدة بـ نوافذ مراقبة كاملة الجسم مقاومة للتشبّع بالرطوبة ومنع التكثّف عند نقطة الندى المنخفضة والتي تتميز بشفافية عالية وخالية من التكثف، مع مراعاة الرؤية أثناء الإنتاج والختم النظيف؛ وباب الفولاذ النظيف يعتمد عملية صب متكاملة، مع ختم محكم وفتح وإغلاق هادئ، ليتكيف مع سيناريوهات الاستخدام عالي التكرار.

توصيل فعّال، وجودة قابلة للتحكم يعتمد على خطوط الإنتاج الآلي في قاعدتي التصنيع الذكيتين في شاندونغ وأنهوي، ما يحقّق إنتاج الألواح النظيفة والألواح المصنوعة يدويًّا وغيرها من المنتجات وفق معايير موحَّدة وعلى نطاق واسع، ويضمن اتساق دورة التسليم والجودة؛ ومزودٌ بمختبر معترف به وطنيًّا من قِبل اللجنة الوطنية للاعتماد (CNAS)، وقد خضعت جميع الدفعات من الألواح المصنوعة يدويًّا والألواح النظيفة وغيرها من المنتجات لاختبارات أداء صارمة، وتتوافق مع معايير النظافة الخاصة بصناعة أشباه الموصلات، مما يوفّر ضمانًا راسخًا لإنجاز المشروع بجودة عالية.

تمكين السيطرة الصناعية المستقلة، والبناء المشترك لمستقبل «القلب» الصيني

من مرحلة التصميم والبحث والتطوير إلى مرحلة الإنتاج والبناء، قامت الفِرقة بالتحكم الصارم في كل تفصيل ودعمت تنفيذ المشروع وفق معيار «صفر عيوب». وقد أظهرت ألواحها اليدوية عالية الجودة، وألواحها النظيفة، ونظام الغلاف الكلي المتكامل أداءً ممتازًا، وتم في النهاية إنجاز بناء نظام غلاف ورشة العمل النظيفة بنجاح. وحققت جميع المؤشرات المتطلبات التصميمية أو تجاوزتها، ما كسب اعترافًا عاليًا من شركة تشيانغهوا المحدودة. وإن تسليم هذا المشروع بسلاسة ليس مجرد حالة مرجعية جديدة في مجال الأنظمة النظيفة المتطورة لقطاع أشباه الموصلات فحسب، بل يُبرز أيضًا التطورات الكبرى التي حققتها الألواح النظيفة المحلية، والألواح اليدوية، وأنظمة الأغلفة النظيفة في المجالات الأساسية مثل التقنيات الجوهرية، والقدرات التخصيصية، وموثوقية الجودة، مُنهيةً بذلك الاحتكار الذي كانت تمارسه العلامات التجارية الخارجية في السوق المتطورة، وداعمةً ترقية سلسلة قيمة صناعة أشباه الموصلات نحو الاستقلالية والتحكم الذاتي.

في الوقت الراهن، تُسرّع صناعة الدوائر المتكاملة في الصين من الاختراقات في التكنولوجيات الأساسية الأساسية، وتتقدم بخطى واسعة نحو العمليات المتقدمة والتحكم الذاتي المستقل. وباعتبارها «البنية التحتية» لتصنيع أشباه الموصلات، يُشكّل نظام الغرف النظيفة— الذي تُعد منتجاته الأساسية مثل الألواح النظيفة والألواح المصنوعة يدويًّا الحلقات الحاسمة لضمان عائد رقائق أشباه الموصلات وتحسين كفاءة الإنتاج. وفي المستقبل، سنواصل التعمّق في البحث والتطوير في مجالات التكنولوجيا النظيفة، مع التركيز على المجالات المتقدمة مثل أشباه الموصلات والبيوتكنولوجيا الطبية والتصنيع الدقيق، وسنُجري تحديثات مستمرة لأداء الألواح النظيفة والألواح المصنوعة يدويًّا، ونحسّن الحلول المقدَّمة، ونزوّد مشاريع أشباه الموصلات الرائدة بمزيد من التكنولوجيات الأساسية وأفضل المنتجات وأكثر الخدمات احترافيةً، ونبني باستمرار خط دفاع نظيفٍ متينٍ للتصنيع «الأساسي» في الصين، ونسهم في التنمية عالية الجودة لصناعة الدوائر المتكاملة الصينية.