Система чистых корпусов компании Qianghua Co., Ltd., база в Лингане, создает надёжную линию защиты чистоты для «ключевого» производства Китая

Недавно, Проект строительства производственной базы интегральных схем, ключевого оборудования и новых материалов ООО «Цянхуа» расположенная в промышленной зоне Лингань в Шанхае, успешно завершена, что знаменует собой важнейший этап на пути к обеспечению независимого контроля и самодостаточности ключевых отечественных полупроводниковых материалов. Будучи основным поставщиком чистых помещений для данного проекта, Комплексное решение Metal Clean Enclosure System , обладающее превосходными эксплуатационными характеристиками и возможностями глубокой кастомизации, успешно создало высокостандартный барьер чистоты для этого передового полупроводникового завода. Его ключевые продукты — ручной изготовления панели и чистые панели — сыграли решающую роль, став прочной «чистой бронёй», защищающей китайское производство «ядерных» компонентов.

«Жизненная артерия» производства полупроводников: экстремальные требования к чистоте окружающей среды

Производство интегральных схем считается «жемчужиной короны» современной промышленности, а точность его технологических процессов достигает нанометрового уровня. Стабильность и контроль чистой среды напрямую определяют выход годной продукции и ключевую точность. в ходе производства микросхем мельчайшая пыль, частицы или микробное загрязнение могут привести к браку пластин, отказу цепей и колоссальным потерям. Поэтому чистые помещения для производства полупроводников должны не только поддерживать Класс чистоты ISO 1–5 ультравысокую чистоту, но и соответствовать строгим требованиям по таким параметрам, как постоянная температура и влажность, стабильная разность давлений, антибактериальная и пылезащитная защита, огне- и теплостойкость, а также низкая скорость образования пыли это предъявляет к материалам, технологиям, герметичности и стабильности ключевых изделий систем ограждения — таких как чистые панели и панели ручного изготовления — самые высокие отраслевые требования.

Как ведущее предприятие в китайской отрасли кварцевых компонентов для полупроводниковой промышленности и национальное «специализированное, утончённое, характерное и инновационное» предприятие-«малый гигант», компания Qianghua Co., Ltd. глубоко вовлечена в НИОКР и производство изделий из высокочистого кварцевого материала. Её продукция представляет собой незаменимые основные расходные материалы для ключевого оборудования на всех этапах производства микросхем и поставляется таким ведущим предприятиям, как SMIC и NAURA. Недавно завершённая база Lingang занимает площадь 32 му, общая площадь строительства составляет около 46 700 кв. м, а общий объём инвестиций — 550 млн юаней. На этой базе сосредоточено производство высокочистых и высокоточных кварцевых изделий диаметром 8–12 дюймов, а также кремниевых изделий. Являясь проектом в области крупной стратегической новой отрасли в Шанхае, база выполняет ключевую задачу обеспечения самостоятельной управляемости и импортозамещения критически важных полупроводниковых материалов. Строительство её чистых помещений должно соответствовать стандартам производства передовых технологических процессов с нормами 28 нм и ниже, что предъявляет исключительно высокие требования к профессионализму и надёжности чистых панелей и панелей ручной сборки.

Индивидуальное решение для чистых помещений: ключевая компетенция, решающая отраслевые сложности

Благодаря многолетнему техническому опыту в области чистых герметичных корпусов и практическому опыту реализации проектов в полупроводниковой отрасли команда активно участвовала в планировании и проектировании чистого цеха базы Lingang компании Qianghua Co., Ltd. С учётом специфических требований производственного процесса в полупроводниковой отрасли предложено полный комплексный индивидуальный проект , в основе которого — высококачественные ручной сборки панели и чистые панели; охватывает весь спектр продукции: панели для чистых стен, подвесные потолки, стальные двери для чистых помещений, сплошные антизапотевающие смотровые окна, а также системы уплотнения и закрытия, обеспечивая «интегрированное проектирование, интегрированное производство и интегрированное строительство» оболочечной системы.

Материалы премиум-класса, эталонные показатели производительности : в качестве основы используются ручной сборки двойные стекломагнезиевые панели с наполнителем из каменной ваты (т.е. высококачественные панели ручной работы), которые относятся к категории продукции премиум-класса среди чистых панелей. Они обладают такими характеристиками, как огнестойкость класса А, высокоэффективная антибактериальная защита, низкое образование пыли, стойкость к коррозии под действием кислот и щелочей и т.д. Основной материал и панель соединяются методом горячего прессования ECCP, что обеспечивает высокую адгезию и превосходную плоскостность, эффективно подавляя образование частиц и гарантируя чистоту окружающей среды на этапе производства; одновременно они обладают отличными теплоизоляционными и звукоизоляционными свойствами, способствуя стабильному контролю температуры и влажности в цехе и снижению энергопотребления.

Точное уплотнение, предотвращающее загрязнение : На основе индивидуально спроектированных чистых панелей и панелей ручной работы, соединение с выступом и впадиной + алюминиевая уплотнительная конструкция в виде китайских иероглифов используется для модульной сборки с плотными стыками без слепых зон. В сочетании со специальными уплотнительными профилями обеспечивает герметизацию «без зазоров», эффективно препятствуя проникновению внешней пыли и микроорганизмов, а также предотвращая утечку внутреннего чистого воздуха, что гарантирует стабильную разницу давлений в цехе и соответствует требованиям одностороннего воздушного потока в полупроводниковом цехе.

Глубокая кастомизация, адаптация под сценарии : С учётом требований к большим пролётам, высокой степени чистоты и высокой несущей способности полупроводникового цеха разработаны индивидуальные сверхдлинные чистые панели, панели ручной сборки и усиленные каркасные конструкции для повышения общей прочности и устойчивости; оснащён наблюдательными окнами полного размера с антизапотевающим покрытием и низкой точкой росы которые обладают высокой прозрачностью и не подвержены запотеванию, с учётом визуализации производственного процесса и герметичности уплотнения; стальная чистая дверь изготовлена по технологии интегрального литья, обеспечивает плотное уплотнение и бесшумное открывание/закрывание, адаптирована для сцен с высокой частотой эксплуатации.

Эффективные поставки, контролируемое качество опираясь на автоматизированные производственные линии двух интеллектуальных производственных баз в провинциях Шаньдун и Аньхой, достигнуто стандартизированное и крупномасштабное производство чистых панелей, ручных панелей и других изделий, что гарантирует стабильность сроков поставки и однородность качества; на предприятии имеется аккредитованная национальная лаборатория CNAS, и все партии ручных панелей, чистых панелей и других изделий прошли строгие испытания на эксплуатационные характеристики, соответствующие чистым стандартам полупроводниковой отрасли, обеспечивая надёжную основу для качественной реализации проекта.

Обеспечение промышленной самостоятельности и управляемости, совместное создание будущего «ядра» Китая

От проектирования и НИОКР до производства и строительства команда строго контролировала каждую деталь и обеспечила реализацию проекта в соответствии со стандартом «нулевых дефектов». Высококачественные панели ручной сборки, чистые панели и общая система ограждения показали превосходные эксплуатационные характеристики, что позволило успешно завершить строительство системы ограждения чистого цеха. Все показатели соответствуют или превышают проектные требования, что заслужило высокую оценку компании Qianghua Co., Ltd. Успешная сдача этого проекта — не только ещё один эталонный кейс в сфере высокотехнологичных чистых помещений для полупроводниковой отрасли, но и демонстрация значительных прорывов отечественных чистых панелей, панелей ручной сборки и систем чистых ограждений в области ключевых технологий, возможностей по индивидуальной адаптации и надёжности качества, что привело к разрушению монополии зарубежных брендов на высокотехнологичном рынке и способствовало повышению уровня самостоятельной управляемости полупроводниковой отраслевой цепочки.

В настоящее время отрасль интегральных схем Китая ускоряет прорыв в ключевых базовых технологиях и уверенно движется вперёд к передовым производственным процессам и обеспечению независимого контроля. Как «инфраструктура» производства полупроводников система чистых герметичных корпусов, в которой такие ключевые продукты, как панели для чистых помещений и ручные панели, играют решающую роль в обеспечении выхода годных микросхем и повышении производственной эффективности. В будущем мы продолжим углублять исследования и разработки в области чистых технологий, сосредоточившись на высокотехнологичных сферах, таких как полупроводники, биомедицина и прецизионное производство, постоянно совершенствуя характеристики панелей для чистых помещений и ручных панелей, оптимизируя решения и поддерживая больше эталонных проектов в области полупроводников за счёт более передовых базовых технологий, более качественных продуктов и более профессиональных услуг, последовательно укрепляя надёжную линию обороны чистых технологий для «сердцевинного» производства Китая и внося вклад в высококачественное развитие отрасли интегральных схем Китая.