Hệ thống Bao bọc Sạch Bảo vệ Công ty TNHH Qianghua, Cơ sở Lingang, xây dựng một hàng rào phòng thủ sạch vững chắc cho lĩnh vực sản xuất "lõi" của Trung Quốc

Gần đây, bộ phận phát điện Dự án Cơ sở Sản xuất Thiết bị Lõi Mạch Tích hợp và Vật liệu Mới của Công ty TNHH Qianghua nằm tại Khu công nghiệp Lâm Cảng Thượng Hải đã hoàn thành thành công, đánh dấu một bước tiến quan trọng trong quá trình đạt được khả năng kiểm soát độc lập đối với các vật liệu bán dẫn chủ chốt trong nước. Với vai trò là nhà cung cấp chính hệ thống phòng sạch cho dự án này, Giải pháp Tổng thể Hệ thống Bao bọc Sạch bằng Kim loại , nhờ hiệu suất vượt trội và khả năng tùy chỉnh chuyên sâu, đã thành công trong việc xây dựng một hàng rào sạch đạt tiêu chuẩn cao cho nhà máy bán dẫn cao cấp này. Các sản phẩm lõi của hệ thống — tấm làm thủ công và tấm phòng sạch — đã đóng vai trò then chốt, trở thành "áo giáp sạch" vững chắc bảo vệ ngành sản xuất "lõi" của Trung Quốc.

"Tuyến đường sống" của sản xuất bán dẫn: Những yêu cầu khắt khe nhất đối với môi trường sạch

Việc sản xuất mạch tích hợp được ca ngợi là "viên ngọc quý" trong vương miện của ngành công nghiệp hiện đại, với độ chính xác quy trình đạt tới cấp độ nanomet. Tính ổn định và kiểm soát môi trường sạch trực tiếp quyết định tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn và độ chính xác cốt lõi. trong quá trình sản xuất chip, các hạt bụi, tạp chất hoặc vi sinh vật vi mô dù rất nhỏ cũng có thể dẫn đến việc loại bỏ phôi wafer, hỏng mạch và tổn thất lớn. Do đó, các xưởng sạch bán dẫn không chỉ phải duy trì Độ sạch siêu cao cấp ISO 1–5 mà còn phải đáp ứng các chỉ tiêu nghiêm ngặt về các yếu tố như nhiệt độ và độ ẩm không đổi, chênh lệch áp suất ổn định, kháng khuẩn và chống bụi, chống cháy và cách nhiệt, cũng như tốc độ sinh bụi thấp . Điều này đặt ra những yêu cầu hàng đầu của ngành đối với vật liệu, quy trình, hiệu năng kín khít và tính ổn định của các sản phẩm cốt lõi trong hệ thống bao che như tấm panel sạch và tấm panel gia công thủ công.

Là một doanh nghiệp hàng đầu trong ngành thành phần thạch anh bán dẫn của Trung Quốc và là doanh nghiệp nhỏ 'chuyên sâu, tinh xảo, đặc sắc và đổi mới' cấp quốc gia, Công ty TNHH Qianghua đang tập trung sâu vào nghiên cứu, phát triển và sản xuất các sản phẩm vật liệu thạch anh độ tinh khiết cao. Các sản phẩm của công ty là những vật tư tiêu hao cốt lõi không thể thiếu cho các thiết bị chủ chốt trong toàn bộ quy trình sản xuất chip, phục vụ các doanh nghiệp hàng đầu như SMIC và NAURA. Cơ sở Lingang vừa hoàn thành có diện tích 32 mẫu, diện tích xây dựng khoảng 46.700 mét vuông và tổng mức đầu tư 550 triệu nhân dân tệ. Cơ sở này tập trung vào sản xuất các thiết bị thạch anh độ tinh khiết cao và độ chính xác cao kích thước 8–12 inch cũng như các thiết bị dựa trên silicon. Là một dự án trọng điểm thuộc ngành công nghiệp mới nổi chiến lược tại Thượng Hải, cơ sở này đảm nhận sứ mệnh cốt lõi về khả năng tự chủ và kiểm soát độc lập đối với các vật liệu bán dẫn then chốt. Việc xây dựng phòng sạch của cơ sở phải đáp ứng tiêu chuẩn sản xuất của các quy trình tiên tiến ở mức 28 nm trở xuống, đặt ra yêu cầu cực kỳ khắt khe về tính chuyên môn và độ tin cậy của các tấm panel phòng sạch cũng như các tấm panel được gia công thủ công.

Giải pháp Làm sạch Tùy chỉnh: Sức mạnh Cốt lõi Giải quyết Các Khó khăn trong Ngành

Với nhiều năm tích lũy kỹ thuật trong lĩnh vực buồng làm sạch và kinh nghiệm phục vụ các dự án bán dẫn, đội ngũ chuyên gia đã tham gia sâu vào công tác quy hoạch và thiết kế xưởng làm sạch của Công ty TNHH Qianghua – Cơ sở Lin’gang. Dựa trên những yêu cầu đặc thù của quy trình sản xuất bán dẫn, giải pháp được cung cấp là một giải pháp tổng thể tùy chỉnh trọn gói , lấy các tấm panel làm sạch thủ công chất lượng cao và các tấm panel làm sạch làm lõi, bao quát toàn bộ các loại sản phẩm như tấm panel tường làm sạch, trần làm sạch, cửa thép làm sạch, cửa quan sát chống mờ toàn thân và hệ thống gioăng kín – bịt kín, từ đó hiện thực hóa nguyên tắc "thiết kế tích hợp, sản xuất tích hợp và thi công tích hợp" đối với hệ thống bao che.

Vật liệu Cấp cao, Tiêu chuẩn Hiệu năng : Lõi sử dụng tấm panel làm sạch thủ công hai lớp bằng magie-glass và bông khoáng (tức là các tấm được chế tác thủ công cao cấp), đây là những sản phẩm chất lượng cao trong số các tấm sạch. Chúng có các đặc tính như khả năng chống cháy cấp A, kháng khuẩn hiệu quả cao, sinh bụi thấp, chống ăn mòn axit và kiềm, v.v. Vật liệu lõi và tấm được liên kết bằng quy trình ép nhiệt ECCP, đảm bảo độ bám dính cao và độ phẳng tuyệt vời, từ đó hiệu quả ngăn chặn việc sinh ra các hạt bụi và đảm bảo môi trường sạch ngay từ nguồn; đồng thời, chúng còn có khả năng cách nhiệt và cách âm xuất sắc, giúp kiểm soát ổn định nhiệt độ và độ ẩm trong xưởng cũng như giảm tiêu thụ năng lượng.

Niêm phong chính xác, ngăn ngừa nhiễm bẩn : Dựa trên các tấm sạch và tấm chế tác thủ công được thiết kế theo yêu cầu riêng, kết cấu nối chèn dạng lồi-lõm + thanh nhôm niêm phong hình chữ Hán được áp dụng cho lắp ráp theo mô-đun, với các mối nối khít chặt không có điểm chết. Kết hợp cùng các dải gioăng đặc biệt, hệ thống đạt được bao bọc "khe hở bằng không", hiệu quả ngăn chặn bụi và vi sinh vật từ bên ngoài xâm nhập, đồng thời ngăn rò rỉ không khí sạch bên trong, đảm bảo chênh lệch áp suất ổn định trong xưởng và đáp ứng yêu cầu luồng khí một chiều trong xưởng bán dẫn.

Tùy chỉnh chuyên sâu, thích ứng với từng tình huống : Nhằm đáp ứng nhu cầu về khẩu độ lớn, độ sạch cao và khả năng chịu tải cao của xưởng bán dẫn, các tấm panel sạch siêu dài, tấm panel thủ công và cấu trúc xương đỡ gia cường được thiết kế theo yêu cầu riêng nhằm nâng cao độ bền và độ ổn định tổng thể; hệ thống được trang bị cửa quan sát toàn thân chống mờ sương với điểm sương thấp , có độ trong suốt cao và không bị ngưng tụ, đồng thời tính đến khả năng trực quan hóa trong sản xuất và niêm phong sạch sẽ; cửa thép sạch áp dụng quy trình đúc tích hợp, đảm bảo độ kín khít cao và hoạt động mở/đóng êm ái, thích ứng với các tình huống sử dụng tần suất cao.

Giao hàng hiệu quả, kiểm soát chất lượng đáng tin cậy : Dựa trên các dây chuyền sản xuất tự động tại hai cơ sở sản xuất thông minh ở Sơn Đông và An Huy, việc sản xuất chuẩn hóa và quy mô lớn các tấm panel sạch, panel thủ công và các sản phẩm khác đã được hiện thực hóa, đảm bảo tính nhất quán về chu kỳ giao hàng và chất lượng; được trang bị phòng thí nghiệm đạt tiêu chuẩn CNAS (được quốc gia Trung Quốc công nhận), mọi lô sản phẩm panel thủ công, panel sạch và các sản phẩm khác đều đã vượt qua các bài kiểm tra hiệu năng nghiêm ngặt, đáp ứng các tiêu chuẩn sạch của ngành bán dẫn, từ đó cung cấp sự đảm bảo vững chắc cho việc triển khai dự án với chất lượng cao.

Trao quyền kiểm soát độc lập cho công nghiệp, cùng xây dựng tương lai "lõi" của Trung Quốc

Từ thiết kế và nghiên cứu phát triển (R&D) đến sản xuất và thi công, đội ngũ dự án đã kiểm soát nghiêm ngặt từng chi tiết và thúc đẩy việc triển khai dự án theo tiêu chuẩn "không sai sót". Các tấm panel thủ công chất lượng cao, các tấm panel sạch và toàn bộ hệ thống bao che sạch của dự án đều hoạt động xuất sắc, cuối cùng đã hoàn thành thành công việc thi công hệ thống bao che xưởng sạch. Toàn bộ các chỉ tiêu đều đạt hoặc vượt yêu cầu thiết kế, giành được sự ghi nhận cao từ Công ty TNHH Qianghua. Việc bàn giao thuận lợi dự án này không chỉ là một trường hợp điển hình mới trong lĩnh vực xưởng sạch bán dẫn cao cấp, mà còn thể hiện những bước đột phá quan trọng của các sản phẩm tấm panel sạch, tấm panel thủ công và hệ thống bao che sạch trong nước về công nghệ cốt lõi, năng lực tùy chỉnh và độ tin cậy về chất lượng — qua đó phá vỡ thế độc quyền của các thương hiệu nước ngoài trên thị trường cao cấp, góp phần nâng cao khả năng tự chủ và kiểm soát độc lập trong chuỗi cung ứng ngành bán dẫn.

Hiện nay, ngành công nghiệp mạch tích hợp của Trung Quốc đang đẩy nhanh tiến trình đột phá các công nghệ cốt lõi then chốt, từng bước vươn lên các quy trình cao cấp và đạt được khả năng tự chủ, kiểm soát độc lập. Là "hạ tầng" của sản xuất bán dẫn, hệ thống buồng sạch — trong đó các sản phẩm cốt lõi như tấm panel sạch và tấm panel thủ công — đóng vai trò then chốt nhằm đảm bảo tỷ lệ thành phẩm chip và nâng cao hiệu suất sản xuất. Trong tương lai, chúng tôi sẽ tiếp tục đẩy mạnh nghiên cứu và phát triển (R&D) các công nghệ sạch, tập trung vào các lĩnh vực cao cấp như bán dẫn, công nghệ sinh học – y sinh và chế tạo chính xác; liên tục cải tiến hiệu năng của tấm panel sạch và tấm panel thủ công; tối ưu hóa các giải pháp; đồng thời trao quyền cho nhiều dự án tiêu biểu trong lĩnh vực bán dẫn bằng những công nghệ cốt lõi tiên tiến hơn, sản phẩm chất lượng cao hơn và dịch vụ chuyên nghiệp hơn, từ đó không ngừng xây dựng một hàng rào phòng vệ sạch vững chắc cho hoạt động sản xuất "lõi" của Trung Quốc, góp phần thúc đẩy sự phát triển chất lượng cao của ngành mạch tích hợp Trung Quốc.