クリーンエンクロージャーシステム「Clean Enclosure System」— エスコート社、強華有限公司臨港基地が、中国の「コア」製造業を支える堅固なクリーン防衛ラインを構築

最近、 強華有限公司集積回路コア装置・新素材生産基地プロジェクト 上海市臨港工業区に位置する本プロジェクトは、国内半導体コア素材の自主的・可控性確保というプロセスにおいて、極めて重要な一歩を踏み出したことを意味します。本プロジェクトのクリーンワークショップのコアサプライヤーとして、 金属製クリーンエンクロージャーシステム総合ソリューション は、優れた性能と高度なカスタマイズ対応力により、このハイエンド半導体工場向けに高水準のクリーンバリアを成功裏に構築しました。そのコア製品であるハンドクラフトパネルおよびクリーンパネルは、極めて重要な役割を果たし、中国の「コア」製造業を守る堅固な「クリーンアーマー」となりました。

半導体製造の「生命線」：クリーン環境に対する極限レベルの要求

集積回路（IC）製造は、現代産業における「王冠の宝石」と称され、その工程精度はナノメートルレベルに達します。 クリーン環境の安定性および制御性能は、製品の歩留まりと核心的な精度を直接的に左右します。 チップ製造工程において、微小な粉塵、粒子、あるいは微生物による汚染がウエハーの廃棄、回路の故障、および莫大な損失を引き起こす可能性があります。したがって、半導体用クリーン作業室は、「 ISOクラス1～5 」という極めて高い清浄度を維持するだけでなく、 恒温恒湿、圧力差の安定化、抗菌・防塵、耐火・断熱、低粉塵発生率 といった多様な指標においても厳格な要件を満たさなければなりません。これは、クリーンパネルや手作りパネルなどのエンクロージャシステムのコア製品において、素材、製造工程、シーリング性能および安定性に対して、業界最高水準の要求を課すことになります。

中国の半導体用石英部品産業におけるリーディング企業であり、国家レベルの「専門化・精緻化・特色化・革新化」を実現した「小巨人」企業でもある強華株式会社（Qianghua Co., Ltd.）は、高純度石英材料製品の研究開発および生産に深く携わっています。同社の製品は、チップ製造工程全体においてキーデバイスに不可欠なコア消耗品であり、中芯集積回路製造有限公司（SMIC）や北京北方華創科技股有限公司（NAURA）といった業界トップ企業に供給されています。新しく竣工した臨港基地（Lingang Base）は面積32畝、建築延床面積約46,700平方メートル、総投資額5.5億元で、8～12インチの高純度・高精度石英デバイスおよびシリコン基板デバイスの生産に特化しています。上海における主要な戦略的新興産業プロジェクトとして、本基地は半導体のキーマテリアルにおける自主的かつ安定的な調達（独立可控性）という核心的使命を担っています。そのクリーンルームの建設は、28nm以下という先進プロセスの生産基準に見合った水準が求められており、クリーンパネルおよび手作業パネルの専門性と信頼性に対して極めて高い要求が課されています。

カスタマイズされたクリーンソリューション：コア技術力が業界の課題を解決

クリーンエンクロージャー分野における長年の技術蓄積と、半導体プロジェクトへのサービス実績を有する当社チームは、強華有限公司（Qianghua Co., Ltd.）臨港基地のクリーンワークショップの計画・設計に深く関与しました。半導体製造現場の特殊なニーズを踏まえ、 全工程にわたるカスタマイズ型トータルソリューション を提供しています。高品質なハンドクラフトパネルおよびクリーンパネルをコアとし、クリーン壁パネル、天井、鋼製クリーンドア、全身防曇観察窓、シーリング・クロージングシステムなど、あらゆるカテゴリーの製品をカバーし、「統合設計・統合生産・統合施工」によるエンクロージャーシステムの実現を図っています。

トップクラスの素材、性能のベンチマーク ：コア部には 二重ガラスマグネシウム岩綿ハンドクラフトクリーンパネル (つまり、高級な手作りパネル)は、クリーンパネルの中でも高品質な製品です。クラスAの耐火性、高効率抗菌性、低粉塵発生性、耐酸・耐アルカリ腐食性などの特徴を備えています。コア材とパネルはECCP熱圧着工程により複合化されており、高い接着強度と優れた平面性を実現し、粒子の発生を根源から効果的に抑制してクリーン環境を確保します。同時に、優れた断熱性および遮音性能も備えており、工場内の温度・湿度を安定的に制御し、エネルギー消費を削減します。

精密なシーリングによる汚染防止 ：カスタマイズされたクリーンパネルおよび手作りパネルを基に、 凹凸嵌合接続＋漢字形アルミニウムシーリング構造 モジュール式組立に採用されており、死角のないきめ細かな継ぎ目構造を実現しています。特殊なシーリングストリップと組み合わせることで「ゼロギャップ」の密閉性を達成し、外部からの粉塵や微生物の侵入を効果的に遮断するとともに、内部のクリーン空気の漏洩を防止します。これにより、作業場内の安定した圧力差を確保し、半導体工場における一方向空気流の要件を満たします。

詳細なカスタマイズ：シーンに応じた対応 ：半導体工場の広スパン・高潔浄度・高荷重というニーズを踏まえ、超長尺のクリーンパネル、手作りパネル、補強ケイル構造をカスタマイズ設計し、全体的な強度および安定性を向上させています。また、 低露点防曇フルボディ観察窓 生産時の可視化と清潔なシーリングを考慮し、高透明性で結露のないもの；鋼製クリーンドアは一体成形プロセスを採用しており、密閉性が高く、静音での開閉が可能で、高頻度使用シーンに適しています。

効率的な納期管理、品質の確実なコントロール 山東および安徽の2つのスマート製造基地の自動化生産ラインを活用し、クリーンパネル、ハンドクラフトパネルなどの標準化・大規模生産を実現し、納期サイクルと品質の一貫性を確保しています。また、CNAS（中国合格評定国家認可委員会）が認定した国内レベルの試験室を備え、ハンドクラフトパネル、クリーンパネルなど全ロットの製品が厳しい性能試験を通過し、半導体産業向けクリーン基準を満たしており、プロジェクトの高品質な実施を確実に支えています。

産業における自律的コントロール能力の強化を支援し、中国の「コア」技術の未来を共に築く

設計・R&Dから生産・施工に至るまで、チームはすべての工程を「ゼロ欠陥」の基準で厳格に管理し、プロジェクトの実現を推進しました。高品質なハンドクラフトパネル、クリーンパネルおよび全体的なエンクロージャーシステムは優れた性能を発揮し、最終的にクリーンワークショップ用エンクロージャーシステムの施工を無事に完了しました。すべての指標は設計要件を満たすか、あるいはそれを上回り、強華有限公司（Qianghua Co., Ltd.）より高い評価を得ました。本プロジェクトのスムーズな納入は、ハイエンド半導体クリーン分野における新たなベンチマーク事例であると同時に、国内製クリーンパネル、ハンドクラフトパネルおよびクリーンエンクロージャーシステムが、コア技術、カスタマイズ対応力、品質信頼性において重大なブレイクスルーを達成したことを示すものであり、海外ブランドによるハイエンド市場での独占を打破し、半導体産業チェーンの自主的・可控性の向上を支援しています。

現在、中国の集積回路産業は、キーコア技術の突破を加速させ、ハイエンドプロセスおよび自立的・制御可能な方向へと大きく前進しています。半導体製造における「インフラストラクチャー」であるクリーンエンクロージャーシステムにおいて、クリーンパネルやハンドクラフトパネルなどのコア製品は、チップの歩留まり確保および生産効率向上のための重要な工程です。今後、当社はクリーン技術の研究開発をさらに深化させ、半導体、バイオ医療、精密製造といったハイエンド分野に重点を置き、クリーンパネルおよびハンドクラフトパネルの性能を継続的にアップグレードし、ソリューションを最適化していきます。さらに、より高度なコア技術、より優れた製品、そしてより専門的なサービスを通じて、多数の半導体ベンチマークプロジェクトを支援し、中国の「コア」製造業に対する堅固なクリーン防衛ラインを継続的に構築するとともに、中国の集積回路産業の高品質な発展に貢献してまいります。