Reines Gehäusesystem – Escorts Qianghua Co., Ltd., Standort Lingang: Aufbau einer soliden, sauberen Verteidigungslinie für Chinas „Kern“-Fertigung

Kürzlich, das Projekt für die Produktionsstätte integrierter Schaltungen, Kernanlagen und neuer Materialien der Qianghua Co., Ltd. das Projekt, das sich in der Industriezone Shanghai Lingang befindet, wurde erfolgreich abgeschlossen und markiert einen entscheidenden Schritt hin zur eigenständigen Steuerbarkeit wichtiger heimischer Halbleitermaterialien. Als Kernlieferant für den Reinraum dieses Projekts hat das Gesamtlösung für metallische Reinraumgehäuse , mit seiner hervorragenden Leistung und tiefgreifenden Anpassungsfähigkeit, erfolgreich eine hochwertige Reinraumbarriere für diese hochmoderne Halbleiterfabrik errichtet. Seine Kernprodukte – handgefertigte Paneele und Reinraumpaneele – haben eine Schlüsselrolle gespielt und sind zu einer soliden „Rein-Rüstung“ geworden, die Chinas „Kern“-Fertigung schützt.

„Lebenslinie“ der Halbleiterfertigung: Extrem hohe Anforderungen an die Reinraumumgebung

Die Herstellung integrierter Schaltungen gilt als die „Krone der Krone“ der modernen Industrie, wobei ihre Prozessgenauigkeit den Nanometerbereich erreicht. Die Stabilität und Kontrolle der Reinraumumgebung bestimmen unmittelbar die Ausbeute und die Kernpräzision der Produkte. während des Chip-Herstellungsprozesses können bereits kleinste Staubpartikel, Partikel oder mikrobielle Kontaminationen zum Ausschuss von Wafern, zu Schaltkreisfehlern und zu erheblichen Verlusten führen. Daher müssen Halbleiter-Reinräume nicht nur ISO-Klasse 1–5 eine ultrahohe Reinheit aufrechterhalten, sondern auch strenge Anforderungen hinsichtlich konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit, stabilem Druckgradienten, antibakterieller und staubdichter Bauweise, Feuer- und Wärmedämmung sowie geringer Staubemissionsrate erfüllen. Dies stellt höchste branchenspezifische Anforderungen an Materialien, Fertigungsverfahren, Dichtleistung und Stabilität zentraler Produkte des Gehäusesystems – wie Reinraumplatten und handgefertigte Platten.

Als führendes Unternehmen der chinesischen Halbleiter-Quarzkomponentenindustrie und als nationales „Spezialisiertes, Verfeinertes, Charakteristisches und Innovatives“ Kleinstunternehmen („Small Giant Enterprise“) ist Qianghua Co., Ltd. intensiv in Forschung, Entwicklung und Produktion von hochreinen Quarzmaterialien tätig. Ihre Produkte sind unverzichtbare Kernverbrauchsmaterialien für Schlüsselausrüstungen im gesamten Chip-Herstellungsprozess und werden von führenden Unternehmen wie SMIC und NAURA eingesetzt. Der neu fertiggestellte Lingang-Standort umfasst eine Fläche von 32 Mu (ca. 21.333 m²), verfügt über eine Baufläche von rund 46.700 Quadratmetern und wurde mit einer Gesamtinvestition von 550 Millionen Yuan realisiert. Er konzentriert sich auf die Produktion von hochreinen und hochpräzisen Quarzbauteilen sowie siliziumbasierten Bauteilen für Wafergrößen von 8 bis 12 Zoll. Als bedeutendes strategisches Zukunftsprojekt in Shanghai übernimmt er die zentrale Aufgabe der eigenständigen Steuerbarkeit und Versorgungssicherheit kritischer Halbleitermaterialien. Der Bau des Reinraums muss den Produktionsstandards fortschrittlicher Fertigungsverfahren mit Strukturbreiten von 28 nm und darunter entsprechen, was an die Fachkompetenz und Zuverlässigkeit von Reinraumplatten sowie handgefertigten Platten äußerst hohe Anforderungen stellt.

Maßgeschneiderte Reinraumlösung: Kernkompetenz löst branchenspezifische Herausforderungen

Mit jahrelanger technischer Erfahrung im Bereich der Reinraumumschließung und langjähriger Erfahrung bei der Betreuung von Halbleiterprojekten war das Team intensiv an der Planung und Gestaltung der Reinraumhalle des Lingang-Standorts der Qianghua Co., Ltd. beteiligt. Unter Berücksichtigung der besonderen Anforderungen des Halbleiter-Fertigungsumfelds bietet es eine vollständige, maßgeschneiderte Gesamtlösung , deren Kern hochwertige handgefertigte Paneele und Reinraumpaneele bilden; diese umfasst sämtliche Produktkategorien wie Reinraumwandpaneele, Decken, Stahl-Reinraumtüren, vollflächige beschlagfreie Beobachtungsfenster sowie Dicht- und Verschlusssysteme und realisiert damit die „integrierte Planung, integrierte Fertigung und integrierte Errichtung“ des Umschließungssystems.

Hochwertige Materialien, Leistungsmaßstab : Der Kern besteht aus handgefertigten Reinraumpaneelen mit Doppelglas-Magnesiumoxid-Kern und Mineralwolle (d. h. hochwertige, handgefertigte Paneele), die zu den hochwertigen Produkten unter den Reinraumpaneelen zählen. Sie zeichnen sich durch Feuerwiderstandsklasse A, hochwirksame antibakterielle Eigenschaften, geringe Staubentwicklung sowie Beständigkeit gegen Säuren und Laugen aus. Das Kernmaterial und die Paneeloberfläche werden mittels des ECCP-Heißpressverfahrens verbunden, wodurch eine hohe Haftfestigkeit und ausgezeichnete Ebenheit erreicht werden; dies unterdrückt wirksam die Partikelbildung und gewährleistet von Anfang an eine saubere Umgebung. Gleichzeitig weisen sie hervorragende Wärme- und Schalldämmungseigenschaften auf, was zur stabilen Steuerung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit in der Werkstatt beiträgt und den Energieverbrauch senkt.

Präzise Dichtung zur Vermeidung von Kontamination : Basierend auf maßgeschneiderten Reinraumpaneelen und handgefertigten Paneelen ist die stufenförmige Steckverbindung mit chinesisch geformter Aluminiumdichtungsstruktur wird für die modulare Montage verwendet, mit dichten Fugen ohne Sackgassen. In Kombination mit speziellen Dichtungsleisten wird eine „Null-Fugen“-Umhausung erreicht, die effektiv das Eindringen von externem Staub und Mikroorganismen verhindert und ein Austreten der internen Reinluft vermeidet; dadurch wird der stabile Druckunterschied im Werkraum gewährleistet und die Anforderungen an die unidirektionale Luftströmung im Halbleiterwerkraum erfüllt.

Umfassende Individualisierung, angepasst an verschiedene Einsatzszenarien : Um den Anforderungen an große Spannweiten, hohe Reinheit und hohe Tragfähigkeit im Halbleiterwerkraum gerecht zu werden, wurden maßgeschneiderte Reinpaneele in ultralangen Abmessungen, handgefertigte Paneele sowie verstärkte Tragkonstruktionen entwickelt, um die Gesamtsteifigkeit und -stabilität zu erhöhen; ausgestattet mit niedrigtaupunkt-Antibeschlag-Ganzglas-Beobachtungsfenstern , die hochtransparent und frei von Kondensation sind, unter Berücksichtigung der Produktionsvisualisierung und einer sauberen Versiegelung; die Stahltür für Reinräume wird im integrierten Spritzgussverfahren hergestellt, bietet eine dichte Versiegelung sowie geräuschloses Öffnen und Schließen und eignet sich somit für Szenarien mit häufigem Gebrauch.

Effiziente Lieferung, kontrollierbare Qualität : Durch die automatisierten Produktionslinien der beiden intelligenten Fertigungsstandorte in Shandong und Anhui wird die standardisierte und großserienmäßige Produktion von Reinraumplatten, handgefertigten Platten und anderen Produkten realisiert, wodurch Konsistenz bei Lieferfristen und Qualität gewährleistet wird; das Unternehmen verfügt über ein vom CNAS national anerkanntes Labor, und alle Chargen handgefertigter Platten, Reinraumplatten und anderer Produkte haben strenge Leistungstests bestanden und entsprechen den Reinheitsstandards der Halbleiterindustrie – dies stellt eine solide Garantie für die qualitativ hochwertige Realisierung des Projekts dar.

Stärkung der industriellen Eigenständigkeit und Steuerbarkeit, gemeinsames Gestalten der Zukunft des chinesischen „Kerns“

Vom Design und der Forschung & Entwicklung bis hin zur Produktion und Konstruktion hat das Team jedes Detail streng kontrolliert und das Projekt mit dem Standard „Null Fehler“ zum Erfolg geführt. Die hochwertigen handgefertigten Paneele, die Reinraumpaneele sowie das gesamte Gehäusesystem haben sich hervorragend bewährt und letztlich den erfolgreichen Abschluss der Konstruktion des Reinraum-Workshop-Gehäusesystems ermöglicht. Alle Kennwerte erfüllen oder übertreffen die Anforderungen der Planung und haben bei der Qianghua Co., Ltd. hohe Anerkennung gefunden. Die reibungslose Lieferung dieses Projekts stellt nicht nur einen weiteren Referenzfall im hochwertigen Bereich der Halbleiter-Reinräume dar, sondern demonstriert zudem bedeutende Durchbrüche heimischer Reinraumpaneele, handgefertigter Paneele und Reinraum-Gehäusesysteme in Bezug auf Kerntechnologien, Individualisierungsfähigkeit sowie Qualität und Zuverlässigkeit – wodurch das Monopol ausländischer Marken im Hochleistungssegment durchbrochen und die Unabhängigkeit und Steuerbarkeit der Halbleiter-Industriekette vorangetrieben wird.

Derzeit beschleunigt Chinas Halbleiterindustrie den Durchbruch bei Schlüsseltechnologien und schreitet zielstrebig voran Richtung Hochleistungsprozesse sowie unabhängiger Kontrollierbarkeit. Als »Infrastruktur« der Halbleiterfertigung stellt das Reinraumgehäusesystem – dessen Kernprodukte wie Reinraumplatten und handgefertigte Platten entscheidende Elemente zur Sicherstellung der Chip-Ausschussquote und zur Steigerung der Produktions-Effizienz dar. In Zukunft werden wir die Forschung und Entwicklung im Bereich Reinraumtechnologien weiter vertiefen, uns auf Hochleistungsbereiche wie Halbleiter, Biomedizin und Präzisionsfertigung konzentrieren, die Leistungsmerkmale von Reinraumplatten und handgefertigten Platten kontinuierlich weiterentwickeln, Lösungen optimieren und mehr Referenzprojekte in der Halbleiterbranche mit noch leistungsfähigeren Kerntechnologien, besseren Produkten sowie professionelleren Dienstleistungen unterstützen. Damit stärken wir nachhaltig die robuste Reinraumabwehrlinie für Chinas »Kern«-Fertigung und tragen zum qualitativ hochwertigen Wachstum der chinesischen Halbleiterindustrie bei.