Σύστημα Καθαρού Περιβλήματος Clean Enclosure System της εταιρείας Escorts Qianghua Co., Ltd. – Βάση Lingang, δημιουργώντας μια στέρεα γραμμή άμυνας για την «πυρήνα» παραγωγή της Κίνας
Πρόσφατα, το Έργο Βάσης Παραγωγής Κεντρικού Εξοπλισμού Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων και Νέων Υλικών της εταιρείας Qianghua Co., Ltd. που βρίσκεται στη Βιομηχανική Ζώνη Lingang της Σανγκάη ολοκληρώθηκε επιτυχώς, σηματοδοτώντας ένα κρίσιμο βήμα στη διαδικασία αυτόνομης ελεγξιμότητας των βασικών εγχώριων ημιαγωγικών υλικών. Ως κύριος προμηθευτής του καθαρού εργαστηρίου για αυτό το έργο, το Ολοκληρωμένο Σύστημα Μεταλλικού Καθαρού Περιβλήματος , με την εξαιρετική του απόδοση και τις εμβάθυνσης προσαρμοστικές δυνατότητες, κατάφερε επιτυχώς να δημιουργήσει ένα καθαρό φράγμα υψηλού επιπέδου για αυτό το υψηλής τεχνολογίας ημιαγωγικό εργοστάσιο. Τα βασικά του προϊόντα, οι χειροποίητες πλάκες και οι καθαρές πλάκες, διαδραμάτισαν καθοριστικό ρόλο, καθιστώντας τα στέρεο «καθαρό θώρακα» που προστατεύει την «πυρήνα» παραγωγή της Κίνας.
«Γραμμή Ζωής» της Ημιαγωγικής Παραγωγής: Ακραίες Απαιτήσεις στο Περιβάλλον Καθαρότητας
Η κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων χαρακτηρίζεται ως «η πιο λαμπερή κορώνα» της σύγχρονης βιομηχανίας, με την ακρίβεια της διαδικασίας να φτάνει σε επίπεδο νανομέτρων. Η σταθερότητα και ο έλεγχος του καθαρού περιβάλλοντος καθορίζουν απευθείας την απόδοση του προϊόντος και την κύρια ακρίβειά του. κατά τη διαδικασία παραγωγής των μικροεπεξεργαστών, μικροσκοπική σκόνη, σωματίδια ή μικροβιακή μόλυνση μπορούν να οδηγήσουν σε απόρριψη των πλακών (wafers), αποτυχία των κυκλωμάτων και τεράστιες απώλειες. Ως εκ τούτου, οι καθαρές εγκαταστάσεις ημιαγωγών πρέπει όχι μόνο να διατηρούν ISO Κλάση 1–5 υπερυψηλό βαθμό καθαρότητας, αλλά επίσης να πληρούν αυστηρούς δείκτες σε παραμέτρους όπως σταθερή θερμοκρασία και υγρασία, σταθερή διαφορά πίεσης, αντιβακτηριακή και αντισκονική προστασία, αντιπυρική και θερμομονωτική ικανότητα, καθώς και χαμηλός ρυθμός παραγωγής σκόνης αυτό θέτει απαιτήσεις υψηλότερου επιπέδου στη βιομηχανία για τα υλικά, τις διαδικασίες, την ερμετικότητα και τη σταθερότητα των βασικών προϊόντων του συστήματος περίβλειψης, όπως οι καθαρές πλάκες και οι χειροποίητες πλάκες.
Ως κορυφαία επιχείρηση στη βιομηχανία κρυσταλλικών εξαρτημάτων ημιαγωγών της Κίνας και ως εθνικού επιπέδου «Εξειδικευμένη, Εξελιγμένη, Χαρακτηριστική και Καινοτόμος» μικρή γίγαντας επιχείρηση, η Qianghua Co., Ltd. ασχολείται ενδελεχώς με την έρευνα και ανάπτυξη (R&D) και την παραγωγή προϊόντων υψηλής καθαρότητας από υλικό κρυσταλλικού χαλκού. Τα προϊόντα της αποτελούν αναπόσπαστα βασικά καταναλωτικά υλικά για τον κεντρικό εξοπλισμό σε ολόκληρη τη διαδικασία κατασκευής τσιπ, υπηρετώντας κορυφαίες επιχειρήσεις όπως η SMIC και η NAURA. Η νεοκατασκευασθείσα Βάση Lingang καλύπτει έκταση 32 μου, με συνολική επιφάνεια κατασκευής περίπου 46.700 τ.μ. και συνολική επένδυση 550 εκατ. γιουάν. Επικεντρώνεται στην παραγωγή υψηλής καθαρότητας και υψηλής ακρίβειας κρυσταλλικών συσκευών διαμέτρου 8–12 ιντσών και συσκευών βασισμένων σε πυρίτιο. Ως ένα σημαντικό στρατηγικό έργο ανερχόμενης βιομηχανίας στη Σανγκάη, αναλαμβάνει τη βασική αποστολή της αυτόνομης ελεγξιμότητας των κεντρικών υλικών ημιαγωγών. Η κατασκευή του καθαρού εργαστηρίου της πρέπει να ανταποκρίνεται στα πρότυπα παραγωγής προηγμένων διαδικασιών 28 nm και κάτω, προκαλώντας εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις όσον αφορά την επαγγελματικότητα και την αξιοπιστία των καθαρών πλακών και των χειροποίητων πλακών.
Προσαρμοσμένη Λύση Καθαρότητας: Η Βασική Δύναμη Επιλύει τις Βιομηχανικές Δυσκολίες
Με χρόνια τεχνικής συσσώρευσης στον τομέα των κλειστών χώρων καθαρότητας και εμπειρίας στην εξυπηρέτηση ημιαγωγικών έργων, η ομάδα συμμετείχε ενεργά στον σχεδιασμό και την προετοιμασία του εργαστηρίου καθαρότητας της Qianghua Co., Ltd. στη Βάση Lingang. Συνδυάζοντας τις ειδικές ανάγκες του σεναρίου παραγωγής ημιαγωγών, παρέχει μια πλήρη προσαρμοσμένη ολοκληρωμένη λύση , με υψηλής ποιότητας χειροποίητες πλάκες και πλάκες καθαρότητας ως βασικό στοιχείο, καλύπτοντας όλες τις κατηγορίες προϊόντων, όπως πλάκες καθαρών τοίχων, οροφές, χάλυβες πόρτες καθαρότητας, παραθυρόφυλλα πλήρους σώματος αντιθαμβωτικά για παρατήρηση και συστήματα σφράγισης και κλεισίματος, επιτυγχάνοντας το «ενιαίο σχεδιασμό, ενιαία παραγωγή και ενιαία κατασκευή» του συστήματος περίβλημα.
Υψηλού Επιπέδου Υλικά, Πρότυπο Απόδοσης : Το βασικό στοιχείο χρησιμοποιεί χειροποίητες πλάκες καθαρότητας διπλής γυάλινης μαγνησίας με μονωτικό υλικό από πέτρινο μαλλί (δηλ. υψηλής ποιότητας χειροποίητα πάνελ), τα οποία είναι προϊόντα υψηλής ποιότητας μεταξύ των καθαρών πάνελ. Έχουν τα χαρακτηριστικά της αντοχής στη φωτιά της κατηγορίας Α, υψηλής αποτελεσματικότητας αντιβακτηριακών, χαμηλής παραγωγής σκόνης, αντοχής στη διάβρωση οξέων και αλκαλίων κλπ. Το βασικό υλικό και το πάνελ συνθέτονται με διαδικασία θερμής πίεσης ECCP, με
Ακριβής Σφραγίδα, Προστασία από τη μόλυνση : βασισμένη σε εξατομικευμένα καθαρά πάνελ και χειροποίητα πάνελ, η σύγκλωση σύγσωμης-εξογκωμένης εισαγωγής + δομή σφράγισης από αλουμίνιο κινέζικου χαρακτήρα χρησιμοποιείται για την ενσωμάτωση με τρόπο που βασίζεται σε μονάδες, με σφιχτές αρθρώσεις χωρίς νεκρά σημεία. Σε συνδυασμό με ειδικές λάστιχες σφράγισης, επιτυγχάνει περίβλημα «μηδενικής διακένου», αποτρέποντας αποτελεσματικά την εισβολή εξωτερικής σκόνης και μικροοργανισμών, καθώς και τη διαρροή εσωτερικού καθαρού αέρα, διασφαλίζοντας τη σταθερή διαφορά πίεσης στο εργαστήριο και πληρούμενες τις απαιτήσεις μονοκατευθυντικής ροής αέρα στα εργαστήρια ημιαγωγών.
Εκτεταμένη Προσαρμογή, Προσαρμοστικότητα σε Σενάρια : Με στόχο τις ανάγκες ευρείας έκτασης, υψηλής καθαρότητας και υψηλής φέρουσας ικανότητας των εργαστηρίων ημιαγωγών, σχεδιάζονται προσαρμοσμένες καθαρές πλάκες υπερμεγέθους διαστάσεων, πλάκες κατασκευασμένες με χειροποίητο τρόπο και ενισχυμένες δοκοί για τη βελτίωση της συνολικής αντοχής και σταθερότητας· είναι εξοπλισμένο με παράθυρα παρατήρησης ολόκληρου σώματος με αντιθαμβωτική λειτουργία και χαμηλό σημείο δρόσου οι οποίες είναι υψηλά διαφανείς και απαλλαγμένες από συμπύκνωση, λαμβάνοντας υπόψη την οπτικοποίηση της παραγωγής και την αδιάβροχη σφράγιση· η χάλυβας αδιάβροχη πόρτα υιοθετεί διαδικασία ολοκληρωμένης μορφοποίησης, με σφιχτή σφράγιση και ήσυχο άνοιγμα/κλείσιμο, προσαρμοζόμενη σε σενάρια υψηλής συχνότητας χρήσης.
Αποτελεσματική Παράδοση, Ελεγχόμενη Ποιότητα βασιζόμενο στις αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής των δύο έξυπνων βιομηχανικών βάσεων στο Σαντόνγκ και το Ανχουέι, επιτυγχάνεται η τυποποιημένη και μαζική παραγωγή καθαρών πλακών, χειροποίητων πλακών και άλλων προϊόντων, διασφαλίζοντας τη συνέπεια του χρονοδιαγράμματος παράδοσης και της ποιότητας· διαθέτει επίσης εργαστήριο αναγνωρισμένο από το CNAS, ενώ όλες οι παρτίδες χειροποίητων πλακών, καθαρών πλακών και άλλων προϊόντων έχουν υποστεί αυστηρές δοκιμές απόδοσης και συμμορφώνονται με τα πρότυπα καθαρότητας της βιομηχανίας ημιαγωγών, παρέχοντας μια αξιόπιστη εγγύηση για την υψηλής ποιότητας υλοποίηση του έργου.
Ενίσχυση της Βιομηχανικής Αυτονομίας και Ελεγξιμότητας, Κοινή Δημιουργία του Μέλλοντος του «Πυρήνα» της Κίνας
Από το σχεδιασμό και την έρευνα και ανάπτυξη (R&D) μέχρι την παραγωγή και την κατασκευή, η ομάδα ελέγχει αυστηρά κάθε λεπτομέρεια και προωθεί την υλοποίηση του έργου με το πρότυπο «μηδενικών ελαττωμάτων». Οι υψηλής ποιότητας χειροποίητες πλάκες, οι καθαρές πλάκες και το συνολικό σύστημα περίβλεψης απέδωσαν εξαιρετικά και ολοκλήρωσαν με επιτυχία την κατασκευή του συστήματος περίβλεψης του καθαρού εργαστηρίου. Όλοι οι δείκτες πληρούν ή υπερβαίνουν τις προδιαγραφές σχεδιασμού, κερδίζοντας υψηλή αναγνώριση από την εταιρεία Qianghua Co., Ltd. Η ομαλή παράδοση αυτού του έργου δεν αποτελεί απλώς ένα ακόμη πρότυπο περίπτωσης στον υψηλού επιπέδου τομέα καθαρών εγκαταστάσεων για ημιαγωγούς, αλλά αποδεικνύει επίσης τις σημαντικές διασπάσεις των εγχώριων καθαρών πλακών, χειροποίητων πλακών και συστημάτων καθαρής περίβλεψης όσον αφορά τις βασικές τεχνολογίες, τις δυνατότητες προσαρμογής και την αξιοπιστία της ποιότητας, διαλύοντας το μονοπώλιο των ξένων μαρκών στην αγορά υψηλού επιπέδου και συμβάλλοντας στην αναβάθμιση της αυτόνομης ελεγξιμότητας της αλυσίδας εφοδιασμού της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Σήμερα, η βιομηχανία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων της Κίνας επισπεύδει τη διάσπαση κλειδιού των βασικών τεχνολογιών, προχωρώντας με αποφασιστικότητα προς υψηλής ποιότητας διαδικασίες και αυτόνομο έλεγχο. Ως «υποδομή» της παραγωγής ημιαγωγών, το σύστημα καθαρών περιβλημάτων — όπου τα βασικά προϊόντα, όπως οι καθαρές πλάκες και οι χειροποίητες πλάκες, αποτελούν τους κρίσιμους κρίκους για τη διασφάλιση της απόδοσης των τσιπ και τη βελτίωση της αποδοτικότητας παραγωγής. Στο μέλλον, θα συνεχίσουμε να εμβαθύνουμε την έρευνα και ανάπτυξη (R&D) καθαρών τεχνολογιών, με επίκεντρο υψηλής τεχνολογίας τομείς όπως οι ημιαγωγοί, η βιοϊατρική και η ακριβής κατασκευή, θα εξελίσσουμε συνεχώς τις επιδόσεις των καθαρών πλακών και των χειροποίητων πλακών, θα βελτιστοποιούμε τις λύσεις και θα ενισχύουμε περισσότερα πρότυπα έργα ημιαγωγών με περισσότερες βασικές τεχνολογίες, καλύτερα προϊόντα και εξειδικευμένες υπηρεσίες, δημιουργώντας συνεχώς μια αξιόπιστη «γραμμή άμυνας» καθαρότητας για την κινεζική «πυρηνική» παραγωγή και συμβάλλοντας στην υψηλής ποιότητας ανάπτυξη της κινεζικής βιομηχανίας ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
