Чиста система за ограждане на производствени помещения – „Ескортс“ на компания „Цянхуа“ Ко., Лтд., база „Линган“, създава здрава чиста линия от отбрана за китайското производство на „ядрени“ компоненти

Наскоро Проект за производствена база на интегрални схеми, основно оборудване и нови материали на компанията Qianghua Co., Ltd. разположена в Индустриалната зона Шанхай Линган, е успешно завършен, което бележи решаваща стъпка в процеса на постигане на независим контрол върху ключовите домашни полупроводникови материали. Като основен доставчик на чиста работилница за този проект, Цялостно решение за метална чиста система за ограждане , с отличните си характеристики и възможности за дълбока персонализация, успешно създаде високостандартна чиста бариера за тази високотехнологична полупроводникова фабрика. Основните ѝ продукти – ръчно изработени панели и чисти панели – изиграха ключова роля и станаха здрава „чиста броня“, защитаваща китайското производство на „ядрени“ компоненти.

„Животоспасяваща артерия“ на полупроводниковото производство: екстремни изисквания към чистата среда

Производството на интегрални схеми се счита за "бисер в короната" на модерната промишленост, като прецизността на процеса достига нанометрово ниво. Стабилността и контролът на чистата среда директно определят добива на продукти и основната прецизност . По време на производствения процес на чипове дори микроскопичен прашец, частици или микробно замърсяване могат да доведат до отхвърляне на пластините (wafer), повреда на веригите и значителни загуби. Следователно чистите работилници за полупроводникови устройства трябва не само да поддържат ISO клас 1–5 ултра-висока чистота, но и да отговарят на строги изисквания по параметри като постоянна температура и влажност, стабилна разлика в налягането, антибактериална защита и предпазване от прашец, пожароустойчивост и топлоизолация, както и ниска скорост на генериране на прашец . Това поставя най-високи индустриални изисквания към материала, технологиите, уплътнителната способност и стабилността на ключовите продукти на системата за ограждане, като например чисти панели и ръчно изработени панели.

Като водещо предприятие в китайската индустрия на кварцови компоненти за полупроводникови устройства и като национално ниво „Специализирано, усъвършенствано, характерно и иновативно“ малко гигантско предприятие, компанията „Цянхуа“ ООД е дълбоко ангажирана с научноизследователската дейност и производството на продукти от кварцов материал с висока чистота. Нейните продукти са незаменими основни консумативи за ключови оборудвания в целия процес на производство на микросхеми и обслужват водещи предприятия като SMIC и NAURA. Новопостроената база „Линган“ заема площ от 32 му, има строителна площ от около 46 700 квадратни метра и общо инвестиции в размер на 550 милиона юана. Тя се фокусира върху производството на кварцови устройства с висока чистота и висока прецизност за 8- и 12-инчови силициеви пластина, както и на силициеви устройства. Като основен проект на стратегическата изникваща индустрия в Шанхай, тя поема ключовата мисия за самостоятелен контрол и самодостатъчност на ключовите полупроводникови материали. Строителството на нейната чиста работилница трябва да отговаря на стандартите за производство на напреднали процеси с техпроцес по-малък от 28 нм, което поставя изключително високи изисквания към професионализма и надеждността на чистите панели и ръчно изработените панели.

Персонализирано решение за чисти помещения: Основната сила решава отрасловите предизвикателства

С години техническо натрупване в областта на чистите ограждения и опит в обслужването на проекти в полупроводниковата индустрия, екипът е взел активно участие в планирането и проектирането на чистото производствено помещение на компания „Цянхуа“ ООД, база Линган. Като се имат предвид специфичните изисквания на производствената среда за полупроводници, е предоставено пълно персонализирано комплексно решение , като основа са висококачествените ръчно изработени панели и чисти панели, обхващащо всички категории продукти – чисти стенни панели, тавани, стоманени чисти врати, цели прозрачни наблюдателни прозорци срещу замъгляване и системи за уплътняване и затваряне, което осъществява „интегрирано проектиране, интегрирано производство и интегрирано строителство“ на ограждащата система.

Материали от висш клас, референтни показатели за производителност : Основата използва ръчно изработени чисти панели с двойно стъкло, магнезиев оксид и каменна вата (т.е. висококачествени ръчно изработени панели), които са продукти от високо качество сред чистите панели. Те притежават характеристики като огнеустойчивост клас А, високо ефективна антибактериална защита, ниско образуване на прах, устойчивост към корозия от киселини и алкални вещества и др. Основният материал и панелът са комбинирани чрез процеса на топло пресоване ECCP, което осигурява висока адхезия и отлично равномерност, ефективно потискайки образуването на частици и гарантирайки чиста среда от самия източник; същевременно те имат отлични термоизолационни и шумоизолационни свойства, които помагат за стабилно регулиране на температурата и влажността в работилницата и намаляване на енергийното потребление.

Точна уплътнение, предотвратяваща замърсяване : Въз основа на персонализирани чисти панели и ръчно изработени панели, конвексно-вдлъбнато вмъкване + алуминиева уплътнителна конструкция в китайски йероглифи се използва за модулна сглобка с плътни стикове без мъртви зони. В комбинация със специални уплътнителни ленти постига обвивка с „нулев разрез“, която ефективно предотвратява проникването на външна прах и микроорганизми и спира изтичането на вътрешния чист въздух, осигурявайки стабилна разлика в налягането в работилницата и отговаряйки на изискванията за еднопосочен въздушен поток в полупроводниковата работилница.

Дълбока персонализация, адаптиране към сценарии : С оглед на нуждите от голям размах, висока степен на чистота и висока носимост за полупроводниковата работилница са проектирани персонализирани чисти панели с ултрадълги размери, ръчно изработени панели и усилени гредови конструкции, за да се подобри общата якост и стабилност; оборудван е с ниско точка на оросяване антизамъгляващи цялотелесни наблюдателни прозорци , които са високо прозрачни и нямат кондензация, като се има предвид визуализацията на производствения процес и чистото запечатване; стоманената чиста врата използва интегриран процес на формоване, с плътно запечатване и тихо отваряне и затваряне, адаптирана към сценарии с висока честота на използване.

Ефективна доставка, контролируемо качество : Като се опира на автоматизираните производствени линии на двете интелигентни производствени бази в Шандун и Аньхой, се осъществява стандартизирано и мащабно производство на чисти панели, ръчно изработени панели и други продукти, което гарантира последователност в цикъла на доставка и качеството; оборудвана е с лаборатория, призната от CNAS на национално равнище, и всички партиди ръчно изработени панели, чисти панели и други продукти са изминали строги изпитания по производителност, съответстващи на чистите стандарти на полупроводниковата индустрия, осигурявайки здрава гаранция за висококачествено изпълнение на проекта.

Подкрепяне на промишлената самостоятелна контролируемост, съвместно изграждане на бъдещето на "сърцевината" на Китай

От дизайна и НИОКР до производството и строителството екипът е строго контролирал всеки детайл и е насърчавал реализацията на проекта според стандарта „нулев дефект“. Висококачествените ръчно изработени панели, чистите панели и цялата ограждаща система са показали отлично представяне и най-накрая проектът е завършен успешно с изграждането на ограждащата система за чиста работилница. Всички показатели са отговаряли или надхвърляли проектните изисквания, което спечели висока оценка от компания „Цянхуа“ ООД. Гладкото изпълнение на този проект не само представлява още един бенчмарк в областта на висококласните чисти помещения за полупроводникови технологии, но и демонстрира значителни пробиви на китайските чисти панели, ръчно изработени панели и чисти ограждащи системи в областта на ключовите технологии, възможностите за персонализиране и качествената надеждност, като по този начин се прекъсва монополът на чуждестранните марки на висококласния пазар и се подпомага модернизацията и повишаването на независимостта и контролируемостта в полупроводниковата верига от доставчици.

В момента интегралната схема на Китай ускорява пробива в ключовите ядрени технологии и решително напредва към високотехнологични процеси и независим контрол. Като „инфраструктура“ на производството на полупроводници, системата за чисти огради – сред чиито основни продукти чистите панели и ръчно изработените панели са ключови звена за осигуряване на висок процент на годни чипове и подобряване на производствената ефективност. В бъдеще ще продължим да задълбочаваме научноизследователската и развойната дейност в областта на чистите технологии, като насочим вниманието си към високотехнологични сфери като полупроводниците, биомедицината и прецизното производство; ще подлагаме на постоянна итерация производителността на чистите панели и ръчно изработените панели, ще оптимизираме решенията и ще осигуряваме подкрепа на още повече водещи проекти в областта на полупроводниците чрез по-напреднали ядрени технологии, по-добри продукти и по-професионални услуги; ще изграждаме непрекъснато здрава линия на защита за чистото производство в китайското „ядрено“ производство и ще допринесем за висококачественото развитие на интегралната схема на Китай.