Švarios aplinkos sistemos tiekėjas „Escorts Qianghua Co., Ltd.“ Lingango bazėje kūria tvirtą švarios gamybos gynybos liniją Kinijos „šerdies“ gamybai

Neseniai „Qianghua Co., Ltd.“ integrinių grandynų šerdies įrangos ir naujų medžiagų gamybos bazės projektas , įsikūręs Šanchajaus Lingango pramonės zonoje, sėkmingai baigtas, žymėdamas esminį žingsnį siekiant nepriklausomos ir kontroliuojamos pagrindinių vietinių puslaidininkių medžiagų gamybos. Kaip šio projekto valymo patalpų pagrindinis tiekėjas, Metalinės valymo apsauginės sistemos visuma sprendimas , dėka puikioms charakteristikoms ir giliam pritaikymo gebėjimui, sėkmingai sukūrė aukštos kokybės valymo barjerą šiai aukštos klasės puslaidininkių gamyklos patalpai. Jo pagrindiniai produktai – rankomis gaminami skydeliai ir valymo skydeliai – atliko lemiamą vaidmenį, tapdami patikima „valymo šarvuote“, saugančia Kinijos „šerdies“ gamybą.

puslaidininkių gamybos „gyvybės linija“: ekstremalūs reikalavimai valymo aplinkai

Integruotų grandynų gamyba laikoma šiuolaikinės pramonės „karūna“ – jos procesų tikslumas pasiekia nanometrų lygį. Švarios aplinkos stabilumas ir valdymas tiesiogiai lemia gaminio išnašą ir pagrindinį tikslumą . Mikroskopinė dulkė, dalelė ar mikrobinis užteršimas čipų gamybos metu gali sukelti plokštelės (wafer) sunaikinimą, grandinės gedimą ir didžiulius nuostolius. Todėl puslaidininkių švariosios patalpos turi ne tik palaikyti ISO 1–5 klasės ypač aukštą švarumą, bet taip pat atitikti griežtus reikalavimus tokiuose parametruose kaip pastovi temperatūra ir drėgmė, stabilus slėgio skirtumas, antibakterinis ir dulkių nepraleidžiantis apsauginis sluoksnis, gaisro ir karščio izoliacija bei žemas dulkių susidarymo rodiklis . Tai kelia aukščiausius pramonės reikalavimus apsauginės sistemos pagrindinių produktų – tokių kaip švariosios plokštės ir rankomis gaminamos plokštės – medžiagoms, gamybos procesams, sandarinimo savybėms ir stabilumui.

Kaip lyderė Kinijos puslaidininkių kvietzinių komponentų pramonėje ir nacionalinio lygio „Specializuota, subtili, charakteringa ir inovacinė“ mažoji milžiniška įmonė, „Qianghua Co., Ltd.“ intensyviai užsiima aukštos grynumo kvietzino medžiagų gaminių tyrimais ir plėtojimu bei gamyba. Jos gaminiai yra būtini pagrindiniai sąnaudų gaminiai visam mikroschemų gamybos procesui, aptarnaudami tokius lyderius kaip „SMIC“ ir „NAURA“. Nesenai baigtas „Lingang“ bazės statybos projektas apima 32 mu (apie 21 333 kvadratinius metrus) ploto teritoriją, statybos plotas siekia apie 46 700 kvadratinių metrų, o bendros investicijos sudaro 550 mln. juanų. Ši bazė specializuojasi 8–12 colių aukštos grynumo ir aukštos tikslumo kvietzinių įrenginių bei silicio pagrindu pagamintų įrenginių gamyboje. Kaip vienas svarbiausių Šanchajaus strateginių naujų pramonės šakų projektų, ji atlieka esminę misiją – užtikrinti pagrindinių puslaidininkių medžiagų nepriklausomą valdymą. Šios valymo patalpos statyba turi atitikti pačių pažangiausių 28 nm ir mažesnių technologijų procesų gamybos reikalavimus, todėl kyla itin didelės iššūkiai valymo plokštumų ir rankomis gaminamų plokštumų profesionalumui bei patikimumui.

Individualizuotas švaraus sprendimo paslaugų komplektas: pagrindinės galios taikymas pramonės problemoms spręsti

Turėdami metų techninės patirties švarių patalpų konstrukcijų srityje ir patirties dirbdami su puslaidininkių projektų užsakovais, komanda aktyviai dalyvavo Qianghua Co., Ltd. Lingang bazės švariosios gamybos patalpų planavime ir projektavime. Atsižvelgdami į puslaidininkių gamybos scenarijaus ypatingus reikalavimus, jie siūlo visą procesą apimančią individualizuotą visuotinę sprendimų sistemą , kurios pagrindą sudaro aukštos kokybės rankomis gaminamos plokštės ir švariosios plokštės, apimanti visas produktų kategorijas – švarių sienų plokštes, lubas, plienines švariosios patalpos duris, viso ilgio nedulkinančius stebėjimo langus bei sandarinimo ir uždarymo sistemas, realizuojant „integruotą projektavimą, integruotą gamybą ir integruotą statybą“ švariosios patalpos konstrukcijų sistemoje.

Aukščiausios kokybės medžiagos, našumo etalonas : Pagrindą sudaro dvigubos stiklo magnio ir uolienų vatos rankomis gaminamos švariosios plokštės (t. y. aukštos kokybės rankomis gaminamos plokštės), kurios yra aukščiausios kokybės produktai tarp švarios aplinkos plokščių. Jos turi A klasės ugniai atsparumo, aukšto efektyvumo antibakterinio veikimo, mažo dulkių išsiskyrimo, rūgščių ir šarmų korozijos atsparumo savybes ir kt. Pagrindinė medžiaga ir plokštė sujungiamos ECCP karštojo spaustuvimo būdu, todėl pasižymi dideliu sukibimu ir puikiu plokštumu, veiksmingai slopindamos dalelių susidarymą ir užtikrindamos švarią aplinką nuo pat šaltinio; tuo pačiu metu jos turi puikią šilumos ir garso izoliaciją, padedančią stabiliai kontroliuoti gamybos patalpos temperatūrą ir drėgmę bei sumažinti energijos suvartojimą.

Tikslus sandarinimas, užkertantis kelią užteršimui : Remiantis pritaikytomis švarios aplinkos plokštėmis ir rankomis gaminamomis plokštėmis, įdubusių ir iškilusių elementų įstatymo jungtis + kinų rašto formos aliuminio sandarinimo konstrukcija naudojamas moduliniam surinkimui, su tankiais jungtimis be aklųjų galų. Su specialiais sandarinimui skirtais juostomis pasiekiamas „nulinis tarpas“ uždarymo konstrukcijoje, efektyviai neleidžiantis išorinėms dulkiams ir mikroorganizmams patekti į vidų bei neleidžiant švariam vidiniam orui prasiskverbti laukan, taip užtikrinant pastovų darbo vietos slėgio skirtumą ir atitinkant vienkryptės oro srauto reikalavimus puslaidininkių gamybos patalpose.

Išsamus pritaikymas pagal konkrečius poreikius : siekiant tenkinti puslaidininkių gamybos patalpų didelio žingsnio, aukštos švaros ir didelės apkrovos reikalavimus, sukurti individualūs labai ilgi švarūs skydai, rankomis gaminami skydai ir sustiprintos grotelinės konstrukcijos, kad būtų padidinta bendroji stiprybė ir stabilumas; jie komplektuojami žemo rasos taško nuo miglos apsauginiais viso kūno stebėjimo langais kurie yra labai permatomi ir neturi kondensato, atsižvelgiant į gamybos vaizdavimą ir švarų sandarinimą; plieninės švarios durys pagamintos integruoto formavimo būdu, užtikrina stiprų sandarinimą ir tylią atidarymo bei uždarymo funkciją, pritaikytas dažnai naudojamoms situacijoms.

Efektyvus pristatymas, kontroliuojama kokybė remiantis dviejų išmaniųjų gamybos bazių Šandonge ir Anhui automatizuotomis gamybos linijomis, pasiekta standartizuota ir masinė švarių plokščių, rankomis gaminamų plokščių ir kitų produktų gamyba, užtikrinant pristatymo terminų ir kokybės vientisumą; įrengta CNAS nacionaliai pripažinta laboratorija, o visos rankomis gaminamų plokščių, švarių plokščių ir kitų produktų partijos sėkmingai išlaikė griežtus našumo bandymus, atitinkančius puslaidininkių pramonės švaros reikalavimus, taip suteikiant patikimą garantiją projektui aukštos kokybės įgyvendinimui.

Skatinant pramoninį nepriklausomą valdymą, kartu kuriame Kinijos „širdies“ ateitį

Nuo dizaino ir tyrimų bei plėtros iki gamybos ir statybos komanda kruopščiai kontroliavo kiekvieną detalę ir projektą įgyvendino remdamasi „nulinio defekto“ standartu. Aukštos kokybės rankomis gaminamos plokštės, švarios plokštės ir visuma apsauginė sistema veikė puikiai, o galiausiai sėkmingai buvo užbaigta švariosios dirbtuvės apsauginės sistemos statyba. Visi rodikliai atitiko arba viršijo projektuotus reikalavimus, todėl įmonė „Qianghua Co., Ltd.“ suteikė aukštą įvertinimą. Šio projekto sklandi pristatymo ne tik dar vienas etaloninis atvejis aukštos klasės puslaidininkių švaros srityje, bet taip pat rodo svarbius vietinių švariosios plokštės, rankomis gaminamų plokščių ir švariosios apsauginės sistemos technologijų, pritaikymo galimybių ir kokybės patikimumo pasiekimus, nutraukiant užsienio prekių ženklų monopoliją aukštos klasės rinkoje ir padedant modernizuoti puslaidininkių pramonės grandinės savarankišką valdymą.

Šiuo metu Kinijos integruotųjų grandynų pramonė sparčiai įveikia pagrindines branduolinių technologijų kliūtis ir žengia į priekį link aukšto lygio gamybos procesų bei savarankiškos valdymo galimybės. Kaip puslaidininkių gamybos „infrastruktūra“, švarios aplinkos apsauginė sistema, kurios pagrindiniai produktai – švarios plokštės ir rankomis gaminamos plokštės – yra esminiai grandiniai, užtikrinantys mikroschemų išnašą ir padidinant gamybos efektyvumą. Ateityje mes toliau gilinsime švarios technologijos tyrimus ir plėtojimą, dėmesį sutelkdami į aukšto lygio sritis, tokias kaip puslaidininkiai, biomedicinos ir tikslieji gamybos procesai, nuolat tobulindami švarių plokščių ir rankomis gaminamų plokščių charakteristikas, optimizuodami sprendimus ir įgalindami daugiau puslaidininkių etaloninių projektų su dar daugiau branduolinių technologijų, geresniais produktais ir profesionalesniais paslaugomis, nuolat stiprindami tvirtą Kinijos „branduolinės“ gamybos švarios aplinkos gynybą bei prisidedant prie Kinijos integruotųjų grandynų pramonės aukštos kokybės vystymosi.