Tisztasági burkolati rendszer – a Qianghua Co., Ltd. Lingang-alapja épít egy szilárd, tisztasági vonalat védelmezve Kína „mag” gyártási ágazatát

A közelmúltban a Qianghua Co., Ltd. integrált áramkörök magjának felszerelése és új anyagok gyártótelepének projektje amely a sanghaji Lingang-ipari övezetben helyezkedik el, sikeresen befejeződött, ami kulcsfontosságú lépést jelent a hazai félvezető-anyagok kulcsfontosságú önellátásának folyamatában. Mint e projekt tisztasági műhelyének fő beszállítója, a Fém tisztasági burkolati rendszer komplex megoldása , kiváló teljesítményével és mélyreható testreszabási képességeivel sikerrel épített fel egy magas színvonalú tisztasági akadályt ebben a kifinomult félvezető-gyártó üzemben. Alapvető termékei – a kézzel készített panelek és a tisztasági panelek – döntő szerepet játszottak, és megbízható „tisztasági páncélzatként” védik Kína „mag” gyártási ágazatát.

a félvezető-gyártás „életvonala”: extrém követelmények a tisztasági környezettel szemben

Az integrált áramkörök gyártását a modern ipar „koronázó drágakövének” nevezik, mivel a folyamat pontossága nanométeres szintre ér el. A tisztaságot biztosító környezet stabilitása és szabályozása közvetlenül meghatározza a termékhozamot és a kulcsfontosságú pontosságot. a chippelőállítás során apró por-, részecske- vagy mikrobiológiai szennyeződés vezethet a wafer selejtezéséhez, áramköri hibákhoz és óriási veszteségekhez. Ezért a félvezető tisztaságot biztosító műhelyeknek nemcsak az ISO 1–5 osztályú szuperszuper tisztaságot kell fenntartaniuk, hanem szigorú követelményeket is teljesíteniük kell olyan paraméterek tekintetében, mint például a állandó hőmérséklet és páratartalom, stabil nyomáskülönbség, antibakteriális és pormentes környezet, tűzállóság és hőszigetelés, valamint alacsony portermelési arány ez a burkolati rendszer kulcsfontosságú termékeire – például a tisztaságot biztosító panelekre és kézzel készített panelekre – a legmagasabb ipari követelményeket támasztja a felhasznált anyagok, gyártási eljárások, tömítési teljesítmény és stabilitás területén.

A Qianghua Co., Ltd. a kínai félvezető-kvartzalkotóelem-ipar vezető vállalata, valamint egy nemzeti szintű „Specialized, Refined, Characteristic and Innovative” (szakosodott, finomított, jellegzetes és innovatív) kis óriás vállalat, amely mélyen foglalkozik a nagyon tiszta kvartzanyag-termékek kutatásával és fejlesztésével, valamint gyártásával. Termékei elengedhetetlen, alapvető fogyasztási anyagok a teljes chipgyártási folyamat kulcsfontosságú berendezéseihez, és szolgálják a vezető vállalatokat, például az SMIC-et és a NAURA-t. Az újonnan elkészült Lingang-bázis 32 mu területet foglal el, építési területe körülbelül 46 700 négyzetméter, összes beruházása 550 millió jüan. A bázis a 8–12 hüvelykes, nagyon tiszta és nagy pontosságú kvartzberendezések és szilíciumalapú berendezések gyártására specializálódik. Mint Sanghaj egyik fő stratégiai új típusú ipari projektje, a bázis a félvezetők kulcsfontosságú anyagainak önálló, kontrollálható előállításának alapvető feladatát vállalja. Tisztasági műhelyének építése megfelelőnek kell lennie a 28 nm-nél kisebb folyamatok fejlett gyártási szabványainak, ami rendkívül magas követelményeket támaszt a tisztasági panelek és kézzel készített panelek szakértelemével és megbízhatóságával szemben.

Egyedi tisztasági megoldás: A mag erőssége megoldja az ipari kihívásokat

Évek óta gyűjtött technikai tapasztalatunk a tisztasági burkolati területen, valamint a félvezetőprojektek kiszolgálásában lehetővé tette csapatunk számára, hogy mélyen részt vegyen Qianghua Co., Ltd. Lingang-alapjának tisztasági műhelyének tervezésében és kialakításában. A félvezető-gyártási forgatókönyv speciális igényeit figyelembe véve egy teljes folyamatot lefedő, egyedi összkomplex megoldást kínálunk, amelynek központi elemei a nagy minőségű kézműves és tisztasági panelek, és amely lefedi a tisztasági falpaneleket, a mennyezeteket, az acél tisztasági ajtókat, a teljes testmagasságú páramentes megfigyelőablakokat, valamint a tömítési és zárórendszereket, így megvalósítva a burkolati rendszer „egységes tervezését, egységes gyártását és egységes építését”.

Csúcsmarkájú anyagok, teljesítményre vonatkozó referenciaérték : A mag elemként kétszeres üveg-magnézium-kőzetgyapot kézműves tisztasági paneleket alkalmaz (azaz premium minőségű, kézzel készített panelek), amelyek a tisztasági panelek között a magas minőségű termékek. Jellemzőik közé tartozik az A osztályú tűzállóság, a hatékony antibakteriális hatás, alacsony portermelés, sav- és lúgállóság stb. A belső anyag és a panelt az ECCP melegpréselési eljárás alkalmazásával kötik össze, így kiváló tapadást és kiváló síkságot érnek el, amely hatékonyan gátolja a részecskék keletkezését, és forrásuktól kezdve biztosítja a tisztasági környezetet; egyidejűleg kiváló hőszigetelő és hangszigetelő tulajdonságaik segítenek a műhely hőmérsékletének és páratartalmának stabil szabályozásában, valamint az energiafogyasztás csökkentésében.

Pontos tömítés, a szennyeződés megelőzése : Az egyedi tisztasági paneleken és kézzel készített paneleken alapuló konkáv-konvex illesztési kapcsolat + kínai írásjeles alumínium tömítési szerkezet moduláris összeszerelésre került kialakításra, szoros illesztésekkel, anélkül, hogy holtterületek keletkeznének. Különleges tömítőszalagokkal együtt elérhető a „zéró rés”-zárás, amely hatékonyan megakadályozza a külső por és mikroorganizmusok behatolását, valamint megakadályozza a belső tiszta levegő szivárgását, biztosítva ezzel a gyártóüzem stabil nyomáskülönbségét és megfelelve a félvezetőgyártó üzemek egyirányú légáramlásának követelményeinek.

Részletes testreszabás, alkalmazkodás a forgatókönyökhöz : A félvezetőgyártó üzemek nagy fesztávolságú, magas tisztasági és nagy teherbírású igényeire tekintettel egyedi, extrahosszú tisztasági panelek, kézzel készített panelek és megerősített merevítőszerkezetek kerültek tervezésre az egész szerkezet szilárdságának és stabilitásának javítása érdekében; felszerelték alacsony harmatpontú, páramentesített teljes testnélű megfigyelőablakokkal amelyek nagyon átlátszók és kondenzációmentesek, figyelembe véve a gyártási vizualizációt és a tisztán záródó tömítést; az acél tisztaságot biztosító ajtó integrált formázási eljárással készül, szoros tömítéssel és halk nyitással-zárással, így alkalmazkodik a nagy frekvenciájú használati forgatókönyvekhez.

Hatékony szállítás, ellenőrizhető minőség a sangtungi és anhui intelligens gyártási bázisok automatizált termelési vonalaira támaszkodva megvalósult a tisztaságot biztosító panelek, kézműves panelek és egyéb termékek szabványosított és nagyüzemi gyártása, így biztosítva a szállítási időszak és a minőség konzisztenciáját; rendelkezik egy CNAS által nemzeti szinten elismert laboratóriummal, és minden tétel kézműves panel, tisztaságot biztosító panel és egyéb termék sikeresen átesett a szigorú teljesítményvizsgálatokon, megfelelve a félvezetőipar tisztasági szabványainak, így megbízható garanciát nyújtva a projekt magas színvonalú megvalósításához.

Az ipari független irányítás erősítése, Kína „magja” jövőjének közös építése

A tervezéstől és az R&D-től a gyártáson és építésen át minden részletet szigorúan ellenőriztek, és a projekt lebonyolítását a „nulla hiba” szabvány szerint támogatták. A magas minőségű kézműves panelek, a tisztasági panelek és az egész burkolati rendszer kiváló teljesítményt nyújtott, és végül sikeresen befejeződött a tisztasági műhely burkolati rendszerének építése. Az összes mutató teljesítette vagy meghaladta a tervezési követelményeket, így nagy elismerést vívott ki a Qianghua Co., Ltd. vállalatnál. Ennek a projektnek a zavartalan átadása nemcsak egy új mércét jelent a felsőkategóriás félvezető-ipari tisztasági területen, hanem bemutatja a hazai tisztasági panelek, kézműves panelek és tisztasági burkolati rendszerek jelentős áttöréseit a kulcsfontosságú technológiákban, az egyedi igényekre szabhatóságban és a minőségi megbízhatóságban, megszüntetve ezzel a külföldi márkák monopóliumát a felsőkategóriás piacon, és hozzájárulva a félvezető-ipari ellátási lánc független irányításának fejlesztéséhez.

Jelenleg Kína integrált áramkör-ipara gyorsan halad a kulcsfontosságú alaptechnológiák áttörésének elérésével, és határozott lépéseket tesz a felsőbb szintű folyamatok és az önálló, kontrollálható gyártás irányába. A félvezető-gyártás „infrastruktúrájaként” szolgáló tisztasági burkolati rendszer – amelynek központi termékei, például a tisztasági panelek és a kézzel készített panelek – döntő szerepet játszanak a chipek kihozatali arányának biztosításában és a gyártási hatékonyság javításában. A jövőben tovább mélyítjük a tisztasági technológiák kutatás-fejlesztését, kiemelt figyelmet fordítunk a félvezetők, a biomedicinális ipar és a precíziós gyártás olyan felsőbb szintű területeire, folyamatosan fejlesztjük a tisztasági panelek és a kézzel készített panelek teljesítményét, optimalizáljuk a megoldásokat, és egyre több félvezető-ipari referencia-projektet támogatunk továbbfejlesztett alaptechnológiákkal, jobb minőségű termékekkel és szakmailag még magasabb színvonalú szolgáltatásokkal. Ezzel folyamatosan megerősítjük Kína „magja”-gyártásának megbízható tisztasági védelmi vonalát, és hozzájárulunk az ország integrált áramkör-iparának minőségi fejlődéséhez.