Systém čistých uzatvorení spoločnosti Escorts Qianghua Co., Ltd., základňa Lingang – vytvára pevnú čistú obrannú líniu pre „kľúčovú“ výrobu v Číne

Nedávno Projekt výrobnej základne integrovaných obvodov, kľúčového vybavenia a nových materiálov spoločnosti Qianghua Co., Ltd. umiestnený v priemyselnej zóne Shanghai Lingang bol úspešne dokončený, čo predstavuje kľúčový krok v procese dosiahnutia nezávislej kontrolovateľnosti kľúčových domácich polovodičových materiálov. Ako hlavný dodávateľ čistých dielní pre tento projekt systém Celkové riešenie kovového čistého uzatvoreného priestoru , vďaka svojmu vynikajúcemu výkonu a hlbokým možnostiam prispôsobenia, úspešne vytvoril vysokostandardnú čistú bariéru pre túto vysokokvalitnú polovodičovú továreň. Jeho kľúčové produkty – ručne vyrábané dosky a čisté dosky – zohrali rozhodujúcu úlohu a stali sa pevnou „čistou brnenou ochranou“ chrániacou „jadrovú“ výrobu v Číne.

„Životná linka“ polovodičovej výroby: extrémne požiadavky na čisté prostredie

Výroba integrovaných obvodov sa považuje za „klenot na korune“ modernej priemyselnosti, pričom presnosť jej procesov dosahuje nanometrovú úroveň. Stabilita a kontrola čistej prostredia priamo určujú výťažok výrobkov a kľúčovú presnosť . Počas výroby čipov môže najmenší prach, častice alebo mikrobiologické kontaminácie spôsobiť odpadnutie platní, poruchu obvodu a obrovské straty. Preto musia polovodičové čisté dielne nielen udržiavať ISO triedy 1–5 ultra vysokú čistotu, ale tiež splňovať prísne požiadavky v parametroch, ako sú stála teplota a vlhkosť, stabilný tlakový rozdiel, antibakteriálna a protiprachová ochrana, požiarny a tepelný izolačný výkon a nízka rýchlosť tvorby prachu . To kladie najvyššie odvetvové požiadavky na materiály, technologické postupy, tesniacu schopnosť a stabilitu kľúčových výrobkov obalového systému, ako sú čisté panely a ručne vyrobené panely.

Ako vedúca spoločnosť v čínskom priemysle kvartcových komponentov pre polovodiče a ako národný „špecializovaný, zdokonalený, charakteristický a inovatívny“ malý gigant, spoločnosť Qianghua Co., Ltd. sa intenzívne zaoberá výskumom a výrobou výrobkov z kvartcového materiálu vysokého stupňa čistoty. Jej výrobky sú nevyhnutnými základnými spotrebnými materiálmi pre kľúčové zariadenia v celom procese výroby čipov a slúžia popredným podnikom, ako sú SMIC a NAURA. Novo dokončená základňa Lingang má rozlohu 32 mu (približne 21 333 m²), stavebnú plochu približne 46 700 m² a celkové investície vo výške 550 miliónov juanov. Zameriava sa na výrobu 8- a 12-palcových kvartcových zariadení vysokého stupňa čistoty a vysokého presnosti, ako aj kremíkových zariadení. Ako hlavný projekt stratégiu vznikajúceho odvetvia v Šanghaji plní kľúčovú úlohu v oblasti nezávislej kontrolovateľnosti kľúčových polovodičových materiálov. Výstavba jej čistých dielní musí zodpovedať výrobným štandardom pokročilých technologických procesov 28 nm a nižších, čo predstavuje extrémne vysoké nároky na odbornosť a spoľahlivosť čistých panelov a ručne vyrobených panelov.

Prispôsobené riešenie čistoty: Základná sila rieši odvetvové problémy

S rokmi technického skúseností v oblasti čistých uzatvorení a s praxou v obsluhe polovodičových projektov sa tím intenzívne zapojil do plánovania a návrhu čistej dielne spoločnosti Qianghua Co., Ltd., základňa Lingang. Vzhľadom na špecifické požiadavky výrobného prostredia pre polovodiče poskytuje komplexné prispôsobené riešenie pre celý proces , pričom jeho jadrom sú vysokokvalitné ručne vyrábané panely a čisté panely, ktoré pokrývajú všetky kategórie výrobkov, ako sú čisté stenové panely, stropy, oceľové čisté dvere, celoplošné protihmlivé pozorovacie okná a systémy tesnenia a uzatvárania, čím sa dosahuje „integrovaný návrh, integrovaná výroba a integrovaná výstavba“ uzatváracieho systému.

Materiály najvyššej kvality, referenčný výkon : Jadro využíva ručne vyrábané čisté panely z dvojitého skla, horčíka a kamennnej vlny (tj. vysokokvalitné ručne vyrábané panely), ktoré patria medzi čisté panely vysokej kvality. Majú vlastnosti požiarnej odolnosti triedy A, vysokú účinnosť proti baktériám, nízku tvorbu prachu, odolnosť voči kyselinám a zásadám atď. Jadrový materiál a panel sú spojené procesom horúcej lisovania ECCP, čo zabezpečuje vysokú adhéziu a vynikajúcu rovnosť povrchu, účinne potláča tvorbu častíc a zaručuje čisté prostredie priamo z jeho zdroja; súčasne majú vynikajúce tepelné a zvukové izolačné vlastnosti, čo pomáha stabilne regulovať teplotu a vlhkosť v dielni a znížiť spotrebu energie.

Presné tesnenie, zabránenie kontaminácii : Na základe prispôsobených čistých panelov a ručne vyrábaných panelov spojenie vypuklo-dutého zapadania + hliníková tesniaca štruktúra v tvare čínskeho znaku sa používa pre modulárnu montáž s tesnými spojmi bez slepých koncov. V kombinácii so špeciálnymi tesniacimi páskami dosahuje uzavretie „bez medzier“, čo účinne bráni vnikaniu vonkajšieho prachu a mikroorganizmov a zabraňuje úniku vnútorného čistého vzduchu, čím zabezpečuje stabilný tlakový rozdiel v dielni a spĺňa požiadavky jednosmerného prúdenia vzduchu v polovodičovej dielni.

Podrobná personalizácia, prispôsobenie scenárom : S ohľadom na potreby polovodičovej dielne s veľkým rozpätím, vysokou čistotou a vysokou nosnosťou boli navrhnuté personalizované čisté panely nadštandardnej dĺžky, ručne vyrábané panely a posilnené klenbové konštrukcie, aby sa zvýšila celková pevnosť a stabilita; vybavené je plnoplošnými pozorovacími oknami s nízkym rosným bodom a protihmlznou funkciou ktoré sú vysokej priehľadnosti a bez kondenzácie, pričom sa berie do úvahy vizualizácia výroby a čisté tesnenie; oceľové čisté dvere využívajú integrovaný proces formovania, s tesným tesnením a tichým otváraním a zatváraním, čo ich prispôsobuje scenárom intenzívneho používania.

Efektívna dodávka, kontrolovateľná kvalita založené na automatizovaných výrobných linkách dvoch inteligentných výrobných základní v provinciách Šan-tung a An-chuej sa dosahuje štandardizovaná a veľkosériová výroba čistých panelov, ručne vyrábaných panelov a iných výrobkov, čím sa zabezpečuje konzistencia dodacích lehôt a kvality; vybavené národnou laboratóriou uznanou CNAS, pričom všetky dávky ručne vyrábaných panelov, čistých panelov a iných výrobkov úspešne prešli prísnymi skúškami výkonu a spĺňajú čisté štandardy polovodičového priemyslu, čo poskytuje pevnú záruku pre vysokokvalitné realizovanie projektu.

Posilňovanie priemyselnej nezávislej kontrolovateľnosti, spoločné budovanie budúcnosti „jadra“ Číny

Od návrhu a výskumu a vývoja po výrobu a stavbu tím prísne kontroloval každý detail a podporoval realizáciu projektu podľa štandardu „nulové chyby“. Jeho vysokokvalitné ručne vyrábané panely, čisté panely a celkový systém obalu dosiahli vynikajúce výsledky a nakoniec úspešne dokončili stavbu systému obalu čistej dielne. Všetky ukazovatele splnili alebo prekročili návrhové požiadavky, čím získali vysoké uznanie spoločnosti Qianghua Co., Ltd. Hladké odovzdanie tohto projektu nie je len ďalším referenčným prípadom v oblasti čistých priestorov pre vysokokvalitné polovodiče, ale tiež demonštruje významné prielomy domácich čistých panelov, ručne vyrábaných panelov a systémov čistého obalu v oblasti kľúčových technológií, schopností prispôsobenia na mieru a spoľahlivosti kvality, čím sa prelomil monopol zahraničných značiek na trhu s vysokokvalitnými výrobkami a podporila sa modernizácia reťazca dodávateľov v polovodičovom priemysle s cieľom dosiahnuť nezávislú kontrolu.

V súčasnosti čínsky priemysel integrovaných obvodov zrýchľuje prelom kľúčových jadrových technológií a energicky sa presúva smerom k vysokovýkonným výrobným procesom a nezávislej kontrolovateľnosti. Ako „infraštruktúra“ polovodičovej výroby predstavuje systém čistých uzatvorení – medzi ktoré patria kľúčové produkty, ako sú čisté panely a ručne vyrábané panely – zásadný prvok zabezpečujúci výťažok čipov a zvyšujúci výrobnú efektivitu. V budúcnosti budeme naďalej hĺbko rozvíjať výskum a vývoj čistých technológií, sústrediť sa na vysokovýkonné oblasti, ako sú polovodiče, biomedicína a presná výroba, neustále zdokonaľovať výkon čistých panelov a ručne vyrábaných panelov, optimalizovať riešenia a posilňovať viac polovodičových referenčných projektov prostredníctvom pokročilejších jadrových technológií, lepších výrobkov a odbornejších služieb. Tým budeme neustále posilňovať spoľahlivú čistú obrannú líniu pre čínsku „jadrovú“ výrobu a prispievať k vysokej kvalite rozvoja čínskeho priemyslu integrovaných obvodov.