Система чистих корпусів компанії Escorts Qianghua Co., Ltd., база в Лінгані, створює міцну лінію чистого захисту для «ключового» виробництва Китаю

Недавно, Проект будівництва виробничої бази інтегральних схем, ключового обладнання та нових матеріалів компанії Qianghua Co., Ltd. розташована в Шанхайській промисловій зоні Лінгань, успішно завершена, що стало важливим кроком у процесі досягнення незалежного контролю над ключовими внутрішніми напівпровідниковими матеріалами. Як основний постачальник чистих цехів для цього проекту, Комплексне рішення для металевої системи чистих корпусів , завдяки винятковим експлуатаційним характеристикам та глибоким можливостям індивідуалізації, успішно створила високостандартний чистий бар’єр для цього передового напівпровідникового заводу. Її основні продукти — ручно виготовлені панелі та чисті панелі — відіграли ключову роль, ставши міцною «чистою бронею», що охороняє «ядерне» виробництво Китаю.

«Життєва артерія» виробництва напівпровідників: екстремальні вимоги до чистого середовища

Виробництво інтегральних схем вважається «перлиною корони» сучасної промисловості, а точність його процесів досягає нанометрового рівня. Стабільність та контроль чистого середовища безпосередньо визначають вихід продукції та ключову точність . Під час виробництва мікросхем навіть найдрібніше забруднення у вигляді пилу, частинок або мікроорганізмів може призвести до бракування пластин, виходу з ладу електричних кіл та значних збитків. Тому чисті приміщення для виробництва напівпровідників повинні не лише забезпечувати Ультрависоку чистоту класу ISO 1–5 , а й відповідати жорстким вимогам щодо таких параметрів, як постійна температура та вологість, стабільна різниця тисків, антибактеріальний та пилозахисний захист, вогнестійкість і теплова ізоляція, а також низька швидкість утворення пилу . Це встановлює найвищі галузеві вимоги до матеріалів, технологій, герметичності та стабільності ключових продуктів системи огородження, зокрема чистих панелей і панелей ручної роботи.

Як провідне підприємство в галузі кварцових компонентів для напівпровідників у Китаї та національне «спеціалізоване, удосконалене, характерне й інноваційне» мале гігантське підприємство, компанія Qianghua Co., Ltd. глибоко залучена до досліджень і розробок та виробництва продуктів із високочистого кварцу. Її продукція є незамінними основними споживчими матеріалами для ключового обладнання на всьому етапі виробництва мікросхем і постачається провідним підприємствам, зокрема SMIC та NAURA. Нещодавно завершений базовий комплекс у Лінгані займає площу 32 му (приблизно 21 333 м²), має будівельну площу близько 46 700 м² та загальні інвестиції в розмірі 550 млн юанів. Він спеціалізується на виробництві високочистих і високоточних кварцових пристроїв та кремнієвих пристроїв діаметром 8–12 дюймів. Як проєкт у галузі ключових стратегічних нових галузей економіки в Шанхаї, він виконує основне завдання забезпечення незалежності та контролю над поставками ключових напівпровідникових матеріалів. Будівництво його чистої виробничої дільниці має відповідати стандартам виробництва передових процесів з техпроцесом 28 нм і менше, що ставить надзвичайно високі вимоги до професійності та надійності панелей для чистих приміщень і ручних панелей.

Індивідуальне рішення для чистих приміщень: ключова сила, що вирішує галузеві проблеми

Завдяки рокам технічного досвіду у сфері чистих оболонок та досвіду обслуговування напівпровідникових проектів команда брала активну участь у плануванні та проектуванні чистого цеху компанії Qianghua Co., Ltd. (база Лінган). Ураховуючи спеціальні вимоги до сценарію виробництва напівпровідників, команда надає повний індивідуальний комплексний розв’язок , основу якого становлять високоякісні ручні панелі та чисті панелі; рішення охоплює всі категорії продукції — чисті стінові панелі, стельові конструкції, сталеві чисті двері, повнорозмірні антизапотіваючі оглядові вікна та системи ущільнення й закриття, забезпечуючи «інтегроване проектування, інтегроване виробництво та інтегроване будівництво» системи оболонки.

Преміальні матеріали, еталонні характеристики : у основі використовуються ручні чисті панелі з подвійним склом, магнієвого оксиду та кам’яної вати (тобто високоякісні ручно виготовлені панелі), які є продуктами високої якості серед чистих панелей. Вони мають такі характеристики, як вогнестійкість класу А, висока ефективність антибактеріального захисту, низьке утворення пилу, стійкість до кислотно-лужної корозії тощо. Основний матеріал і панель з’єднуються за технологією гарячого пресування ECCP, що забезпечує високу адгезію та відмінну площинність, ефективно пригнічаючи утворення частинок і забезпечуючи чисте середовище від джерела; одночасно вони мають відмінні теплоізоляційні та звукоізоляційні характеристики, що сприяє стабільному контролю температури й вологості в цеху та зниженню енергоспоживання.

Точне ущільнення, запобігання забрудненню : На основі спеціально розроблених чистих панелей та ручно виготовлених панелей з’єднання за принципом «впадина–виступ» + алюмінієва ущільнювальна конструкція у формі китайського ієрогліфа використовується для модульної збірки з щільними стиками без мертвих кінців. У поєднанні зі спеціальними ущільнювальними смужками забезпечує корпус із «нульовим зазором», ефективно блокуючи проникнення зовнішнього пилу та мікроорганізмів і запобігаючи витоку внутрішнього чистого повітря, що гарантує стабільну різницю тисків у цеху та відповідає вимогам одностороннього потоку повітря в напівпровідниковому цеху.

Глибока індивідуалізація, адаптація до сценаріїв : З метою задоволення потреб напівпровідникового цеху щодо великої довжини прольоту, високої чистоти та високої несучої здатності розроблено індивідуальні наддовгі чисті панелі, панелі ручної роботи та посилені каркасні конструкції для підвищення загальної міцності й стабільності; обладнано спостережними вікнами з антизапотіваючим покриттям низької точки роси, що охоплюють усе поле зору які є високопрозорими й не утворюють конденсату, з урахуванням візуалізації виробництва та герметичного запечатування; сталева чиста дверна конструкція виконана за інтегральною формувальною технологією, забезпечує щільне ущільнення та тихе відкривання й закривання, адаптована до сценаріїв інтенсивного використання.

Ефективна доставка, контрольованість якості завдяки автоматизованим виробничим лініям двох інтелектуальних виробничих баз у Шаньдуні та Аньхуї досягнуто стандартизованого й масового виробництва чистих панелей, ручних панелей та інших продуктів, що забезпечує стабільність термінів поставки й якості; на підприємстві функціонує лабораторія, акредитована національною системою CNAS, а всі партії ручних панелей, чистих панелей та інших продуктів пройшли суворі випробування на відповідність експлуатаційним характеристикам і відповідають чистим стандартам напівпровідникової галузі, надаючи надійну гарантію для високоякісного впровадження проекту.

Забезпечення незалежного контролю промисловості, спільне будівництво майбутнього «ядра» Китаю

Від проектування та досліджень і розробок до виробництва й монтажу команда суворо контролювала кожну деталь і забезпечила реалізацію проекту за стандартом «нульових дефектів». Високоякісні ручно виготовлені панелі, чисті панелі та загальна система огородження показали відмінні результати й, нарешті, успішно завершили будівництво системи огородження чистої виробничої дільниці. Усі показники відповідають або перевищують проектні вимоги, що заслужило високу оцінку компанії Qianghua Co., Ltd. Безперебійна реалізація цього проекту — це не лише ще один бенчмарк-проект у сфері високотехнологічних чистих приміщень для напівпровідників, а й демонстрація значних проривів у галузі вітчизняних чистих панелей, ручно виготовлених панелей та систем чистих огороджень щодо ключових технологій, можливостей індивідуалізації та надійності якості, що призводить до руйнування монополії закордонних брендів на ринку преміум-сегменту та сприяє підвищенню рівня незалежного контролю в ланцюзі постачання напівпровідникових технологій.

Наразі галузь інтегральних схем Китаю прискорює прорив у ключових базових технологіях і рухається вперед до високотехнологічних процесів та незалежного контролю. Як «інфраструктура» виробництва напівпровідників, система чистих обмежувальних конструкцій — зокрема її основні продукти, такі як панелі для чистих приміщень і ручні панелі, — є ключовими ланками забезпечення виходу мікросхем та підвищення ефективності виробництва. У майбутньому ми й надалі будемо поглиблювати дослідження та розробки у галузі чистих технологій, зосереджуватися на високотехнологічних сферах, таких як напівпровідники, біомедицина та точне виробництво, постійно вдосконалювати характеристики панелей для чистих приміщень і ручних панелей, оптимізовувати рішення та забезпечувати більші орієнтовані на напівпровідники проєкти за допомогою ще більшої кількості базових технологій, кращих продуктів і професійніших послуг, постійно зміцнюючи надійну «чисту» лінію оборони для «ключового» виробництва в Китаї та сприяючи високоякісному розвитку китайської галузі інтегральних схем.