Sistem za čiste zaprte prostore podjetja Escorts Qianghua Co., Ltd., baza Lingang – gradnja trdne čiste obrambne linije za »jedro« proizvodnje v Kitajski

Nedavno je Projekt proizvodne baze za integrirana vezja, jedrske opreme in nove materiale podjetja Qianghua Co., Ltd. ki se nahaja v industrijski coni Shanghai Lingang, je uspešno dokončan, kar pomeni pomemben korak na poti k samostojni nadzorljivosti ključnih domačih polprevodniških materialov. Kot jedrni dobavitelj čistih delavnic za ta projekt je Celovita rešitev za kovinske sisteme čistih zaprtih prostorov , z izjemno zmogljivostjo in podrobno prilagodljivimi možnostmi, uspešno zgradila visokostandardno čisto pregrado za to napredno polprevodniško tovarno. Njene jedrske izdelke – ročno izdelane plošče in čiste plošče – je odigrala ključno vlogo in postala trdna »čista oklepna zaščita« za »jedro« kitajske proizvodnje.

»Življenjska linija« polprevodniške proizvodnje: izjemne zahteve glede čistega okolja

Proizvodnja integriranih vezij se šteje za »dragulj na kroni« sodobne industrije, pri čemer doseže natančnost procesa nanometrsko raven. Stabilnost in nadzor čistega okolja neposredno določata izkoristek izdelka in osnovno natančnost. med proizvodnjo čipov lahko majhne prašne delce, delce ali mikrobiološko kontaminacijo povzročijo odpadke ploščic, odpoved vezja in ogromne izgube. Zato morajo čiste delavnice za polprevodnike ne le ohranjati ISO razred 1–5 izjemno visoko stopnjo čistosti, temveč tudi izpolnjevati stroge kazalnike v dimenzijah, kot so stalna temperatura in vlažnost, stabilna tlakova razlika, protibakterijska in protiprašna zaščita, požarna in toplotna izolacija ter nizka hitrost nastajanja prašnih delcev . To postavlja najvišje industrijske zahteve na materiale, procese, tesnilno zmogljivost in stabilnost osnovnih izdelkov ohišnega sistema, kot so čiste plošče in ročno izdelane plošče.

Kot vodilno podjetje na področju kvarcnih komponent za polprevodniške naprave v Kitajski in kot nacionalno nivojsko »specializirano, izpopolnjeno, značilno in inovativno« malo gigantsko podjetje je podjetje Qianghua Co., Ltd. globoko vključeno v raziskave in razvoj ter proizvodnjo izdelkov iz visokocistega kvarca. Njegovi izdelki so nepogrešljivi jedrni potrošni materiali za ključne opreme v celotnem procesu izdelave čipov in služijo vodilnim podjetjem, kot so SMIC in NAURA. Novo dokončana baza Lingang zajema površino 32 mu (približno 21 333 m²), gradbena površina znaša približno 46 700 m², skupna investicija pa znaša 550 milijonov juanov. Baza se osredotoča na proizvodnjo visokocistih in visokotocnih kvacnih naprav za 8- do 12-inčne plošče ter silicijevih naprav. Kot pomemben projekt strateške nove industrije v Šanghaju prevzema ključno nalogo zagotavljanja neodvisne nadzorljivosti ključnih polprevodniških materialov. Gradnja njene čiste delavnice mora ustrezati standardom proizvodnje naprednih procesov 28 nm in manj, kar predstavlja izjemno visoke zahteve glede profesionalnosti in zanesljivosti čistih plošč in ročno izdelanih plošč.

Prilagojeno rešitev za čiste prostore: jedro z osrednjo močjo rešuje industrijske težave

Z leti tehničnega izkustva na področju čistih ohišij in izkušenj pri izvajanju projektov za polprevodniško industrijo je ekipa globoko sodelovala pri načrtovanju in oblikovanju čiste delavnice podjetja Qianghua Co., Ltd. na bazi Lingang. S kombinacijo posebnih zahtev proizvodnje polprevodnikov ponuja celovito prilagojeno rešitev skozi celoten proces , katere jedro predstavljajo visokokakovostni ročno izdelani plošči in čiste plošče, ki zajema vse kategorije izdelkov, kot so čiste stenske plošče, stropi, jeklene čiste vrata, celotna protizametna opazovalna okna ter tesnilni in zapiralni sistemi, s čimer omogoča »integrirano načrtovanje, integrirano proizvodnjo in integrirano gradnjo« ohišnega sistema.

Najvišje kakovosti materiali, merilo za zmogljivost : Jedro uporablja ročno izdelane čiste plošče z dvojnim steklenim magnezijem in kamnitim volneno napolnjenim jedrom (tj. visokokakovostni ročno izdelani paneli), ki spadajo med čiste panele visoke kakovosti. Imajo lastnosti ognjevzdržnosti razreda A, visoko učinkovito antibakterijsko delovanje, nizko tvorbo prahu ter odpornost proti kislinam in alkalijam. Jedro in plošča sta sestavljena z ECCP postopkom vroče stiskanja, kar zagotavlja visoko lepilno moč in odlično ravnost; s tem učinkovito zavira nastajanje delcev in zagotavlja čisto okolje že na izvirni ravni; hkrati pa imajo odlične toplotnoizolacijske in zvočnoizolacijske lastnosti, kar pomaga stabilno nadzorovati temperaturo in vlažnost v delavnici ter zmanjšati porabo energije.

Natančno tesnjenje za preprečevanje kontaminacije : Na podlagi prilagojenih čistih panelov in ročno izdelanih panelov povezava z izboklinami in vdolbinami + aluminijasta tesnilna struktura v obliki kitajskega znaka se uporablja za modularno sestavljanje z tesnimi spoji brez slepih konцов. V kombinaciji s posebnimi tesnilnimi trakovi doseže zaprtost »nič razmika«, kar učinkovito preprečuje prodor zunanjih prašnih delcev in mikroorganizmov ter izpuščanje notranjega čistega zraka, zagotavlja stabilno tlakovo razliko v delavnici in izpolnjuje zahteve za enosmerni pretok zraka v polprevodniški delavnici.

Podrobna prilagoditev, prilagojena posameznim scenarijem : Z namenom izpolnjevanja zahtev po velikem razponu, visoki čistoči in visoki nosilnosti za polprevodniško delavnico so bili zasnovani prilagojeni izjemno dolgi profili čistih plošč, ročno izdelane plošče in okrepljene rebraste konstrukcije za izboljšanje skupne trdnosti in stabilnosti; opremljeno je z opazovalnimi okni z nizko točko rosi in proti zamagljenju, ki pokrivajo celotno površino , ki so zelo prozorni in brez kondenzacije, pri čemer se upošteva vizualizacija proizvodnje in čist zapirni proces; jeklena čista vrata uporabljajo integrirani oblikovni proces, s tesnim zapiranjem in tiho odpiranjem ter zapiranjem, kar omogoča uporabo v scenarijih z visoko frekvenco.

Učinkovita dostava, nadzorljiva kakovost : Z oporo na avtomatizirane proizvodne linije dveh pametnih proizvodnih baz v Šandongu in Anhuiju se doseže standardizirana in masovna proizvodnja čistih plošč, ročno izdelanih plošč in drugih izdelkov, kar zagotavlja skladnost cikla dostave in kakovosti; opremljeno je z laboratorijem, ki ga je nacionalno priznal CNAS, vsi seriji ročno izdelanih plošč, čistih plošč in drugih izdelkov pa so uspešno opravile stroge preskuse zmogljivosti in izpolnjujejo čiste standarde za polprevodniško industrijo, kar zagotavlja trdno jamstvo za visokokakovostno izvedbo projekta.

Omogočanje industrijske neodvisne nadzorljivosti, skupno gradnja prihodnosti kitajskega »jedra«

Od načrtovanja in razvoja do proizvodnje in gradnje je ekipa strogo nadzorovala vsako podrobnost ter projekt uspešno izvedla v skladu s standardom »nič napak«. Njene visokokakovostne ročno izdelane plošče, čiste plošče in celotni sistem ohišij so odlično opravili svojo nalogo in končno uspešno dokončali gradnjo sistema ohišij za čistilno delavnico. Vsi kazalniki so izpolnili ali celo presegli načrtovane zahteve, kar je prineslo visoko priznanje podjetja Qianghua Co., Ltd. Brezhibna izvedba tega projekta ni le nov primer značilnega dosežka na področju visokokakovostnih čistilnih rešitev za polprevodniško industrijo, temveč tudi prikazuje pomembne tehnološke preboje domačih čistilnih plošč, ročno izdelanih plošč in sistemov čistilnih ohišij na področju jedrnih tehnologij, sposobnosti prilagajanja po meri ter kakovosti in zanesljivosti, s čimer je bil prekinjen monopol tuji blagovni znamke na visokokakovostnem trgu ter podprta nadgradnja samostojne nadzorljivosti v verigi dobave za polprevodniško industrijo.

Trenutno kitajska industrija integriranih vezij pospešuje preboj ključnih jedrnih tehnologij in napreduje proti visoko zmogljivim procesom ter neodvisni nadzorljivosti. Kot »infrastruktura« proizvodnje polprevodnikov predstavlja sistem čistih ohišij, pri čemer so jedrne izdelke, kot so čiste plošče in ročno izdelane plošče, ključni elementi za zagotavljanje donosa čipov in izboljšanje proizvodne učinkovitosti. V prihodnje bomo nadaljevali z globokim raziskovanjem in razvojem čistih tehnologij, se osredotočili na visoko zmogljiva področja, kot so polprevodniki, biomedicina in natančna proizvodnja, neprestano izboljševali zmogljivost čistih plošč in ročno izdelanih plošč, optimizirali rešitve ter s še več jedrnih tehnologij, boljšimi izdelki in strokovnejšimi storitvami omogočali še več referenčnih projektov v področju polprevodnikov; s tem bomo neprekinjeno gradili trdno čisto obrambno linijo za »jedrno« proizvodnjo v Kitajski ter prispevali k visokokakovostnemu razvoju kitajske industrije integriranih vezij.